[实用新型]一种生产质量检测用硅棒的设备

说明书

本实用新型涉及多晶硅生产技术领域，尤其涉及一种生产质量检测用硅棒的设备，其包括:汽化器、汇流切换控制系统和反应器；汽化器上具有物料通道一、物料通道二和物料通道三；物料通道一分别与置换氮气管道、新鲜三氯氢硅管道、回收三氯氢硅管道连通；物料通道二与置换氮气管道连通；物料通道三分别与新鲜氢气管道和回收氢气管道连通；汇流切换控制系统包括：控制阀、压力表和控制器；控制阀和压力表分别设置在多个新鲜三氯氢硅管道、回收三氯氢硅管道、新鲜氢气管道、回收氢气管道和置换氮气管道上；控制器分别与控制阀和压力表连接；反应器与汽化器连通。采用本实用新型能够缩短生产检测用硅棒的周期，提升来料物料质量的评估效率。

技术领域

本实用新型涉及多晶硅生产技术领域，尤其涉及一种生产质量检测用硅棒的设备。

背景技术

在硅棒生产中，决定硅棒产品质量的因素很多，其中原料,中间化合物如硅铁、液氯、氢气、三氯氢硅等的杂质的存在,对产品的质量起决定性作用。因此，提高原料的质量对硅棒产品的生产至关重要。目前对来料的检测手段，主要是通过还原炉专门生产用于质量检测的硅棒，然后对硅棒进行检测，进而确定来料质量。

目前的还原炉反应器系统，一台还原炉对应一个物料管道，对应一个物料来源，只能检测一种来料；如果要检测多种来料，必须采用多台还原炉；而且，现有的还原炉都是生产用的还原炉，都为大型还原炉，造成生产检测硅棒的周期长，成本高，从而使质量检测硅棒的检测数据滞后，影响来料物料的质量评估。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供一种生产质量检测用硅棒的设备，主要目的在于缩短生产检测用硅棒的周期，提升来料物料质量的评估效率。

为达到上述目的，本实用新型主要提供如下技术方案：

本实用新型的实施例提供一种生产质量检测用硅棒的设备，包括:汽化器、汇流切换控制系统和反应器；

所述汽化器上具有物料通道一、物料通道二和物料通道三；

所述物料通道一分别与置换氮气管道、新鲜三氯氢硅管道、回收三氯氢硅管道连通；所述新鲜三氯氢硅管道为多个；多个所述新鲜三氯氢硅管道用于对应于不同的物料来源；所述回收三氯氢硅管道为多个；所述回收三氯氢硅管道与所述新鲜三氯氢硅管道一一对应设置；

所述物料通道二与所述置换氮气管道连通；

所述物料通道三分别与新鲜氢气管道和回收氢气管道连通；所述新鲜氢气管道为多个；所述回收氢气管道为多个；所述回收氢气管道与所述新鲜氢气管道一一对应设置；

所述汇流切换控制系统包括：控制阀、压力表和控制器；

所述控制阀为多个；多个所述控制阀分别设置在多个所述新鲜三氯氢硅管道、所述回收三氯氢硅管道、所述新鲜氢气管道、所述回收氢气管道和所述置换氮气管道上；

所述压力表为多个；多个所述压力表分别设在多个所述新鲜三氯氢硅管道、所述回收三氯氢硅管道、所述新鲜氢气管道、所述回收氢气管道和所述置换氮气管道上；

所述控制器分别与所述控制阀和所述压力表连接，用于采集压力信息，并向所述控制阀输出控制信号；

所述反应器与所述汽化器连通。

进一步地，多个所述新鲜三氯氢硅管道、所述回收三氯氢硅管道、所述新鲜氢气管道、所述回收氢气管道和所述置换氮气管道上设置有单向阀。

进一步地，所述汽化器上连接有混合器；所述混合器与所述汽化器连通；所述汽化器通过所述混合器与所述物料通道一、所述物料通道二和所述物料通道三连通。

进一步地，所述反应器上设置有物料喷嘴；所述物料喷嘴与所述汽化器连通；所述物料喷嘴的上端具有螺旋状导流结构。

进一步地，所述反应器上设置有反应尾气管线、不含氢废气管线和紧急释放气管线；