[实用新型]测试装置及其承载组件

说明书

本申请公开了一种测试装置及其承载组件。该承载组件包括：载盘，设有多个第一承载槽，载盘设有第一防呆部；载台，设有用于安装载盘的第二承载槽，第二承载槽的侧壁还设有与第一防呆部配合的第二防呆部，和对载盘进行弹性限位的弹性组件。通过载盘设置第一防呆部，载台的第二承载槽的侧壁还设有与第一防呆部配合的第二防呆部，和对载盘进行弹性限位的弹性组件，本申请能够有效提高载盘安装的效率。

技术领域

本申请涉及半导体测试技术领域，特别是涉及一种测试装置及其承载组件。

背景技术

现有对晶粒(die)进行检测的测试装置中，tray盘的安装效率不高而导致测试装置的上料效率低下。

实用新型内容

本申请主要提供一种测试装置及其承载组件，以解决载盘安装效率低的问题。

为解决上述技术问题，本申请采用的一个技术方案是：提供一种承载组件。所述承载组件包括：载盘，设有多个第一承载槽，所述载盘设有第一防呆部；载台，设有用于安装所述载盘的第二承载槽，所述第二承载槽的侧壁还设有与所述第一防呆部配合的第二防呆部，和对所述载盘进行弹性限位的弹性组件。

在一些实施例中，所述弹性组件包括：

第一弹性件，连接于所述第二承载槽的第一侧壁，用于弹性抵接于所述载盘的第一侧壁；

第二弹性件，连接于所述第二承载槽的与所述第一侧壁相邻的第二侧壁，用于弹性抵接于所述载盘的第二侧壁；

其中，所述第一弹性件和所述第二弹性件相互配合使得所述第一防呆部与所述第二防呆部对位装配。

在一些实施例中，所述第一弹性件和所述第二弹性件为弹片。

在一些实施例中，所述第一防呆部包括设置于所述载盘的一角上的斜切面，所述第二防呆部包括设置于所述第二承载槽的一角上的避让槽，所述斜切面与所述避让槽对位装配。

在一些实施例中，所述避让槽内设有凸帽，所述凸帽凸出于所述避让槽。

在一些实施例中，所述载盘背离所述多个第一承载槽的一侧设有避空槽，所述多个第一承载槽的底部均设有与所述避空槽连通的通孔。

在一些实施例中，所述载台设有多个所述第二承载槽，并被划分为上料区、合格区和废品区，位于所述上料区的所述载盘用于承载待测试的工件，位于所述合格区的所述载盘用于承载测试通过后的所述工件，位于所述废品区的所述载盘用于承载测试未通过的所述工件。

在一些实施例中，所述合格区内的所述第二承载槽还被划分为不同合格等级，以使得与其对应的所述载盘用于承载相应合格等级的所述工件；所述废品区内的所述第二承载槽还被划分为不同废品等级，以使得与其对应的所述载盘用于承载相应废品等级的所述工件。

在一些实施例中，所述第二承载槽的底部设有检测器，所述检测器用于测试所述第二承载槽内是否承载有所述载盘。

为解决上述技术问题，本申请采用的另一个技术方案是：提供一种测试装置。该测试装置包括如上述的承载组件。

本申请的有益效果是：区别于现有技术的情况，本申请公开了一种测试装置及其承载组件。通过设置载盘和载台，其中载盘设有多个第一承载槽，载盘还设有第一防呆部，载台设有用于安装载盘的第二承载槽，第二承载槽的侧壁还设有与第一防呆部配合的第二防呆部，以使得载盘装载于第二承载槽上时免于出错，且第二承载槽的侧壁还设有对载盘进行弹性限位的弹性组件，在载盘装载于第二承载槽后，弹性组件可高效地对载盘预紧定位，进而可提高载盘装载于载台的精度，因而本申请提供的承载组件能够有效提高载盘安装的效率。

附图说明