[实用新型]一种喷淋过滤装置以及蚀刻系统

权利要求书

1.一种喷淋过滤装置，用于对混合流体进行过滤，其中，所述混合流体包括液体和与所述液体混合的固体，其特征在于，所述喷淋过滤装置包括：

壳体结构，具有过滤腔，所述壳体结构的表面开设有供所述混合流体流入所述过滤腔的进液口以及供所述混合流体流出所述过滤腔的出液口；以及

过滤结构，位于所述过滤腔，所述过滤结构包括相对所述进液口设置的过滤框以及连接所述过滤框的过滤袋，所述过滤框竖直设置且两端分别可拆卸地连接所述过滤腔的两侧腔壁，所述过滤框还开设有安置腔，所述过滤袋的开口端连接所述安置腔的腔口边缘，所述过滤袋的另一端朝背离所述进液口的方向延伸设置，所述过滤袋上开设有过滤孔，所述混合流体于所述进液口流入所述过滤腔，并流经所述过滤袋，再于所述出液口流出所述过滤腔，所述过滤孔阻止所述固体通过所述过滤袋，且所述过滤袋收容所述固体；

其中，所述壳体结构还开设有连通所述过滤腔且供所述过滤结构拆装的安装孔，所述安装孔的孔口朝上设置。

2.如权利要求1所述的喷淋过滤装置，其特征在于：所述过滤框包括框本体以及与所述框本体层叠设置的固定环，所述安置腔开设于所述框本体，所述过滤袋的开口端夹持于所述框本体与所述固定环之间。

3.如权利要求2所述的喷淋过滤装置，其特征在于：所述固定环的环表面开设有固定孔，所述框本体对应所述固定孔的位置开设有螺纹孔，所述过滤结构还包括固定螺栓，所述固定螺栓的一端穿设所述固定孔并螺锁于所述螺纹孔内。

4.如权利要求2所述的喷淋过滤装置，其特征在于：所述过滤腔的腔壁开设有定位滑槽，所述定位滑槽的延伸路径竖直设置，所述定位滑槽开设有两个，两所述定位滑槽相对设置，所述框本体的两端分别滑动设置于两所述定位滑槽。

5.如权利要求4所述的喷淋过滤装置，其特征在于：所述固定环呈矩形，所述固定环的两端分别抵接两所述定位滑槽的槽口边缘。

6.如权利要求1-5任意一项所述的喷淋过滤装置，其特征在于：所述过滤结构沿所述混合流体的流动方向间隔设置有多个，各所述过滤孔的孔径沿所述混合流体的流动方向依次减少设置。

7.如权利要求1所述的喷淋过滤装置，其特征在于：所述安装孔的孔口边缘开设有密封槽，所述喷淋过滤装置还包括密封盖，所述密封盖嵌合于所述密封槽并盖合所述安装孔。

8.如权利要求7所述的喷淋过滤装置，其特征在于：所述喷淋过滤装置还包括密封圈，所述密封圈设置于所述密封槽且所述密封盖朝下压紧所述密封圈。

9.如权利要求7所述的喷淋过滤装置，其特征在于：所述密封槽的槽壁开设有定位穴，所述密封盖的端面对应所述定位穴的位置凸设有定位部，所述定位部卡设于所述定位穴。

10.一种蚀刻系统，其特征在于，包括如权利要求1-9任意一项所述的喷淋过滤装置。