[实用新型]一种高效的单晶硅棒切片装置

权利要求书

1.一种高效的单晶硅棒切片装置，包括工作台(1)，所述工作台(1)的支臂上安装有喷水头(2)，且支臂顶部安装有线切割机构(3)，所述工作台上设有单晶硅棒(4)，其特征在于：所述线切割机构(3)下方的所述工作台(1)上贯穿有进水槽(5)，所述进水槽(5)下方连通有进水通道(6)，所述进水通道(6)底部连通有回收箱(7)，所述回收箱(7)左侧内壁上固接有伸缩杆(8)，所述伸缩杆(8)的伸缩端固接有嵌入框(9)，所述嵌入框(9)内开有嵌入槽(10)，且底面上贯穿有通槽(11)，所述嵌入槽(10)内插入有方框(12)，所述方框(12)内底部安装有过滤网(13)，所述回收箱(7)的底面上从左至右依次设有加热腔(14)和出水槽(15)，所述加热腔(14)内安装有加热丝(16)。

2.根据权利要求1所述的一种高效的单晶硅棒切片装置，其特征在于：所述工作台(1)的底面两侧均安装有支撑腿(21)。

3.根据权利要求1所述的一种高效的单晶硅棒切片装置，其特征在于：所述回收箱(7)上部左侧贯穿有回收槽(17)，右侧贯穿有进水口(18)，所述回收槽(17)上方盖设有盖板(19)，所述盖板(19)右端铰接在所述回收箱(7)的上表面上，左端嵌入所述回收箱(7)的上表面内。

4.根据权利要求3所述的一种高效的单晶硅棒切片装置，其特征在于：所述进水口(18)的直径小于所述方框(12)和过滤网(13)的直径。

5.根据权利要求3所述的一种高效的单晶硅棒切片装置，其特征在于：所述盖板(19)的中心处开有通气孔(20)。

6.根据权利要求1所述的一种高效的单晶硅棒切片装置，其特征在于：所述嵌入框(9)底面的四个角上均安装有滚轮(22)。

7.根据权利要求1所述的一种高效的单晶硅棒切片装置，其特征在于：所述通槽(11)底面上固接有斜向内结构的引水框(23)。

8.根据权利要求1所述的一种高效的单晶硅棒切片装置，其特征在于：所述加热腔(14)和出水槽(15)的面积均大于所述通槽(11)的面积。