[实用新型]激光分束器

权利要求书

1.一种激光分束器，其特征在于，包括表面具有条带图案的衍射光学元件，所述条带图案由多个单周期图案循环排布组成，每个所述单周期图案包括交替排布的多个相位基准条带和多个相位调制条带；对于相同的入射光，所述相位调制条带的输出光相对于所述相位基准条带的输出光的相位延迟为(k+ρ)π，其中，k＝±1,±3,±5,......，ρ的取值区间为[0.12,0.25]和[-0.25,-0.12]。

2.根据权利要求1所述的激光分束器，其特征在于，所述激光分束器为1×7分束器，其中所述单周期图案中，所述相位基准条带和所述相位调制条带的分界线的设计位置依次为：0、0.2265625a、0.6484375a、0.875a和a，其中a为所述单周期图案的宽度；其中，所述相位基准条带和所述相位调制条带的实际宽度与设计宽度的偏差均在±1％以内，或者任意一个所述分界线的实际位置与设计位置的偏差在±0.004a以内。

3.根据权利要求1所述的激光分束器，其特征在于，所述激光分束器为1×7分束器，其中所述单周期图案中，所述相位基准条带和所述相位调制条带的分界线的归一化设计位置依次为：

0、0.2109375、0.6640625、0.875和1；

0、0.21875、0.65625、0.875和1；

0、0.2265625、0.6484375、0.875和1；

0、0.234375、0.640625、0.875和1；

0、0.203125、0.65625、0.859375和1；

0、0.2109375、0.6484375、0.859375和1；

0、0.21875、0.640625、0.859375和1；

0、0.1953125、0.6484375、0.84375和1；

0、0.203125、0.640625、0.84375和1；

0、0.234375、0.359375、0.59375和1；

0、0.21875、0.359375、0.578125和1；

0、0.234375、0.34375、0.578125和1；

0、0.203125、0.359375、0.5625和1；

0、0.2109375、0.3515625、0.5625和1；

0、0.21875、0.34375、0.5625和1；

0、0.1953125、0.3515625、0.546875和1；

0、0.203125、0.34375、0.546875和1；或者

0、0.2109375、0.3359375、0.546875和1；

其中，所述相位基准条带和所述相位调制条带的实际宽度与设计宽度的偏差均在±1％以内，或者任意一个所述分界线的实际位置与设计位置的偏差在±0.004以内。

4.根据权利要求3所述的激光分束器，其特征在于，其中k＝1，ρ的取值范围是[-0.222，-0.209]。

5.根据权利要求1所述的激光分束器，其特征在于，所述激光分束器为1×9分束器，其中所述单周期图案中，所述相位基准条带和所述相位调制条带的分界线的设计位置依次为：0、0.1953125a、0.265625a、0.453125a、0.5234375a、0.71875a和a，其中a为所述单周期图案的宽度；其中，所述相位基准条带和所述相位调制条带的实际宽度与设计宽度的偏差均在±1％以内，或者任意一个所述分界线的实际位置与设计位置的偏差在±0.004a以内。