[实用新型]一种超纯水高级氧化杀菌装置

权利要求书

1.一种超纯水高级氧化杀菌装置，它包括带有进水口和出水口的超纯水水箱，其特征是：它还包括控制器，所述超纯水水箱的出水口连通有溶气泵，所述溶气泵的溶气口通过管道c连接有臭氧发生器，所述溶气泵的出口通过管道d连接有除菌精密过滤器，所述管道d上连接有紫外线杀菌器，所述除菌精密过滤器的出口连接有相互并联的管道a和管道b，所述管道a连接用水点，所述管道b与超纯水水箱连接，所述溶气泵、臭氧发生器、除菌精密过滤器和紫外线杀菌器分别与控制器电连接。

2.根据权利要求1所述的超纯水高级氧化杀菌装置，其特征是：所述超纯水水箱的顶部连接有回水口，所述回水口的上端与管道b连接，所述回水口的下端连接有位于超纯水水箱内部的散射器。

3.根据权利要求2所述的超纯水高级氧化杀菌装置，其特征是：所述散射器包括与回水口连通的壳体，所述壳体上均匀设置有若干个出水孔。

4.根据权利要求3所述的超纯水高级氧化杀菌装置，其特征是：所述超纯水水箱上连接有液位传感器，所述超纯水水箱的进水口处连接有气动隔膜阀，所述液位传感器和气动隔膜阀分别与控制器电连接。

5.根据权利要求4所述的超纯水高级氧化杀菌装置，其特征是：所述管道c中靠近臭氧发生器的一端连接有电动调节阀，所述电动调节阀与控制器电连接。

6.根据权利要求5所述的超纯水高级氧化杀菌装置，其特征是：所述紫外线杀菌器的波长为253.7nm。

7.根据权利要求6所述的超纯水高级氧化杀菌装置，其特征是：所述溶气泵上连接有变频器，所述变频器与控制器电连接。

8.根据权利要求7所述的超纯水高级氧化杀菌装置，其特征是：所述管道d上连接有流量传感器，所述流量传感器与控制器电连接。

9.根据权利要求8所述的超纯水高级氧化杀菌装置，其特征是：所述超纯水水箱的顶部还连接有水箱呼吸器。

10.根据权利要求9所述的超纯水高级氧化杀菌装置，其特征是：所述超纯水水箱的底部连通有水箱排空口。