[实用新型]一种惰性气体分离处理装置

权利要求书

1.一种惰性气体分离处理装置，包括废气储存罐(1)，其特征在于：所述废气储存罐(1)一侧设有加热干燥器(3)，所述加热干燥器(3)一侧设有初级过滤系统，所述初级过滤系统一侧设有第一缓冲气罐(8)，所述第一缓冲气罐(8)一侧设有低压高温加热器(10)，所述低压高温加热器(10)一侧设有分子筛吸附泵(11)，所述分子筛吸附泵(11)一侧设有钛升华泵(12)，所述钛升华泵(12)一侧设有制冷机(14)，所述制冷机(14)一侧设有晶体过滤器(15)，所述晶体过滤器(15)一侧设有分子膜过滤器(16)，所述分子膜过滤器(16)一侧设有第二缓冲气罐(17)，所述第二缓冲气罐(17)一侧设有压缩冷却机(21)，所述压缩冷却机(21)一侧设有气体收集罐(22)。

2.根据权利要求1所述的一种惰性气体分离处理装置，其特征在于：所述废气储存罐(1)与加热干燥器(3)之间设有第一流量控制阀(2)，所述第一流量控制阀(2)输入端与废气储存罐(1)相连通，所述第一流量控制阀(2)输出端与加热干燥器(3)相连通。

3.根据权利要求1所述的一种惰性气体分离处理装置，其特征在于：所述初级过滤系统由一级过滤器(4)、二级过滤器(5)和三级过滤器(6)组成，所述一级过滤器(4)与加热干燥器(3)相连通。

4.根据权利要求3所述的一种惰性气体分离处理装置，其特征在于：所述一级过滤器(4)为沉降室，所述二级过滤器(5)为旋风分离器，所述三级过滤器(6)为静电除尘器。

5.根据权利要求1所述的一种惰性气体分离处理装置，其特征在于：所述初级过滤系统与第一缓冲气罐(8)之间设有第一浓度检测仪(7)，所述第二缓冲气罐(17)与压缩冷却机(21)之间依次设有第二浓度检测仪(18)和第四流量控制阀(20)。

6.根据权利要求1所述的一种惰性气体分离处理装置，其特征在于：所述第一缓冲气罐(8)与低压高温加热器(10)之间设有第二流量控制阀(9)，所述第二缓冲气罐(17)与低压高温加热器(10)相连通，所述第二缓冲气罐(17)与低压高温加热器(10)之间设有第三流量控制阀(19)。

7.根据权利要求1所述的一种惰性气体分离处理装置，其特征在于：所述钛升华泵(12)一侧设有氮气储存罐(13)，所述氮气储存罐(13)与钛升华泵(12)相连通。

8.根据权利要求1所述的一种惰性气体分离处理装置，其特征在于：所述的制冷机(14)为膨胀机。