[实用新型]一种薄膜真空吸附贴合加热装置

权利要求书

1.一种薄膜真空吸附贴合加热装置，其特征是，包括吸附顶板(6)、回型结构的负压真空腔组；所述吸附顶板(6)盖设在回型结构的负压真空腔组上，所述吸附顶板(6)上设有若干个吸附气孔(8)，所述吸附顶板(6)内置有加热机构，所述回型结构的负压真空腔组包括负压真空腔A(2)，负压真空腔B(3)、负压真空腔C(4)；所述装置还连接有真空泵(9)。

2.如权利要求1所述的一种薄膜真空吸附贴合加热装置，其特征是，所述负压真空腔A(2)、负压真空腔B(3)、负压真空腔C(4)各为独立气腔，所述负压真空腔A(2)、负压真空腔B(3)、负压真空腔C(4)分别连接有各自独立的调压阀。

3.如权利要求2所述的一种薄膜真空吸附贴合加热装置，其特征是，所述加热机构为加热棒(5)。

4.如权利要求3所述的一种薄膜真空吸附贴合加热装置，其特征是，所述真空泵(9)通过截止阀(10)和回型结构的负压真空腔组连接。

5.如权利要求4所述的一种薄膜真空吸附贴合加热装置，其特征是，整个装置通过直线导轨(1)与喷涂室底座板(11)相连接。

6.如权利要求5所述的一种薄膜真空吸附贴合加热装置，其特征是，所述负压真空腔C(4)中心为矩形。

7.如权利要求6所述的一种薄膜真空吸附贴合加热装置，其特征是，所述真空泵(9)通过截止阀(10)和负压真空腔A(2)，负压真空腔B(3)、负压真空腔C(4)相连接。

8.如权利要求7所述的一种薄膜真空吸附贴合加热装置，其特征是，整个装置底部安装有装置底板(7)。

9.如权利要求8所述的一种薄膜真空吸附贴合加热装置，其特征是，所述装置还设有温度传感器。