[实用新型]一种用于晶圆的超声波清洗设备

权利要求书

1.一种用于晶圆的超声波清洗设备，包括清洗箱，清洗箱内具有容纳腔，且所述容纳腔内设有晶圆放置盒；所述晶圆放置盒的一侧设有导液管；超声波设备设于所述晶圆放置盒一侧，其特征在于,还包括：

旋转电机，所述旋转电机设于所述晶圆放置盒上，用于将晶圆放置盒旋转；

微调机构，两个所述微调机构设于所述清洗箱的两侧外壁上，用于对晶圆放置盒的水平位置进行调整；

水平传感器，所述水平传感器设于所述晶圆放置盒的上端，用于感应晶圆放置盒的位置，并驱动微调机构使晶圆放置盒水平放置。

2.根据权利要求1所述的用于晶圆的超声波清洗设备，其特征在于：所述导液管的数量为两根，且，两个所述导液管分别位于晶圆放置盒的两侧。

3.根据权利要求1所述的用于晶圆的超声波清洗设备，其特征在于：所述容纳腔的底部设有限位槽，所述限位槽用于限位晶圆放置盒的底部。

4.根据权利要求1所述的用于晶圆的超声波清洗设备,其特征在于：所述微调机构为一气缸，所述气缸设于所述清洗箱的外壁上，且，所述气缸的活塞杆上设有连接块，所述连接块上设有与所述晶圆放置盒接触的调整块。

5.根据权利要求1所述的用于晶圆的超声波清洗设备,其特征在于：所述清洗箱一侧还连通有排液框，所述排液框与清洗箱之间设有溢流槽。