[实用新型]一种碳化硅半导体生产用洁净室净化空调系统有效
申请号: | 202023246944.7 | 申请日: | 2020-12-29 |
公开(公告)号: | CN214249908U | 公开(公告)日: | 2021-09-21 |
发明(设计)人: | 鲁煜;王祎;刘玉良;姜经理;谭大胜 | 申请(专利权)人: | 浙江中电环境科技有限公司 |
主分类号: | F24F3/167 | 分类号: | F24F3/167;F24F13/32;F24F13/15;F24F13/20 |
代理公司: | 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 | 代理人: | 王家蕾 |
地址: | 314000 浙江省嘉兴*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 碳化硅 半导体 生产 洁净室 净化 空调 系统 | ||
1.一种碳化硅半导体生产用洁净室净化空调系统,包括安装板(1),其特征在于:所述安装板(1)的一侧固定连接有安装盒(2),所述安装盒(2)的内部滑动连接有滑块(3),所述滑块(3)的一侧固定连接有空调本体(4),所述安装盒(2)的顶部固定连接有固定盒(5),所述固定盒(5)的内壁固定连接有伸缩杆(6),所述伸缩杆(6)的底端固定连接有拉板(7),所述伸缩杆(6)的外表面套接有压缩弹簧(8),所述压缩弹簧(8)的两端分别与固定盒(5)和拉板(7)固定连接,所述拉板(7)的一侧固定连接有拉杆(9),所述拉杆(9)与固定盒(5)滑动连接,所述拉杆(9)的顶端固定连接有连接板(10),所述拉板(7)的底部固定连接有插杆(11),所述空调本体(4)的顶部固定连接有电机(12),所述电机(12)的输出轴固定连接有风扇(13),所述安装板(1)的一侧通过转轴转动连接有百叶窗(14)。
2.根据权利要求1所述的一种碳化硅半导体生产用洁净室净化空调系统,其特征在于:所述空调本体(4)的内壁固定连接有防尘网(15),所述防尘网(15)的形状为圆形。
3.根据权利要求1所述的一种碳化硅半导体生产用洁净室净化空调系统,其特征在于:所述连接板(10)的顶部固定连接有拉环(16),所述拉环(16)的外表面固定连接有防滑套。
4.根据权利要求1所述的一种碳化硅半导体生产用洁净室净化空调系统,其特征在于:所述固定盒(5)的内壁开设有滑槽(17),所述拉板(7)的两侧固定连接有限位块(18),所述限位块(18)与滑槽(17)滑动连接。
5.根据权利要求1所述的一种碳化硅半导体生产用洁净室净化空调系统,其特征在于:所述安装板(1)的一侧通过第一螺纹钉(19)固定连接有固定块(20),所述固定块(20)的内部螺纹连接有第二螺纹钉(21)。
6.根据权利要求1所述的一种碳化硅半导体生产用洁净室净化空调系统,其特征在于:所述滑块(3)的内部开设有固定孔,固定孔的大小与插杆(11)的大小相适配。
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