[实用新型]高压探针治具

说明书

本实用新型实施例公开了一种高压探针治具，包括：高压线缆；固定套筒，包裹高压线缆；探针，探针的一端的端面与第一伸出部的端面对接；导体管，包裹探针与第一伸出部的对接处，且导体管的一端与第二伸出部的端面对接；第一高压绝缘层，包裹第二伸出部靠近第一伸出部的一端，且包裹导体管；保护层，包裹第一高压绝缘层，且保护层的一端与第三伸出部的端面对接；第二高压绝缘层，包裹第三伸出部靠近保护层的一端，并包裹保护层；连接锁头，包裹第二高压绝缘层的至少部分，连接锁头包括第二端，第二端自第一端露出，第二端设有第一通孔，探针自第一通孔露出；及锁件，穿过第一通孔后与第一端的内侧壁固定连接，以锁定探针。

技术领域

本实用新型涉及治具领域，尤其涉及一种高压探针治具。

背景技术

半导体产业中，目前现有的常见传统探针治具的高压线缆的导体和探针的对接处仅通过一层保护层密封，漏电精度在10PA，耐电压击穿能力500V，不能满足现市场需求的漏电精度200FA，高电压击穿能力3KV。

实用新型内容

针对上述技术问题，本实用新型实施例提供了一种高压探针治具。

本实用新型实施例提供一种高压探针治具，所述高压探针治具包括：

高压线缆，包括导体、包裹所述导体的电缆内绝缘层、包裹所述电缆内绝缘层的内护层、包裹所述内护层的填充层以及包裹所述填充层的电缆外绝缘层，所述导体包括第一伸出部，所述电缆内绝缘层包括第二伸出部，所述内护层包括第三伸出部，所述填充层包括第四伸出部，所述电缆外绝缘层包括第五伸出部，所述第一伸出部、所述第二伸出部、所述第三伸出部、所述第四伸出部位于所述高压线缆的同一端，所述第一伸出部露出所述第二伸出部，所述第二伸出部露出所述第三伸出部，所述第三伸出部露出所述第四伸出部，所述第四伸出部露出所述第五伸出部；

固定套筒，包裹所述高压线缆，所述电缆外绝缘层的外侧壁与所述固定套筒的内侧壁抵接，所述固定套筒包括第一端，所述第一伸出部、所述第二伸出部、所述第三伸出部、所述第四伸出部及所述第五伸出部收容在所述第一端内；

探针，所述探针一端的端面与所述第一伸出部的端面对接，另一端自所述第一端伸出以露在外部；

导体管，包裹所述探针与所述第一伸出部的对接处，且所述导体管的一端与所述第二伸出部靠近所述第一伸出部一端的端面对接；

第一高压绝缘层，包裹所述第二伸出部靠近所述第一伸出部的一端，且包裹所述导体管；

保护层，包裹所述第一高压绝缘层，且包裹所述第三伸出部靠近所述第一高压绝缘层的一端，所述保护层的一端与所述第四伸出部靠近第三伸出部一端的端面对接；

第二高压绝缘层，包裹所述第四伸出部靠近所述保护层的一端，并包裹所述保护层；

连接锁头，包裹所述第二高压绝缘层的至少部分，所述第二高压绝缘层远离所述第四伸出部的一端收容在所述连接锁头内，且所述连接锁头的一端插接固定在所述第一端内，所述连接锁头包括第二端，所述第二端自所述第一端露出，所述第二端设有第一通孔，所述探针穿过所述第一通孔并露在外部；以及

锁件，穿过所述第一通孔后与所述第一端的内侧壁固定连接，以锁定所述探针，所述探针穿过所述锁件。

可选地，所述导体管、所述第一高压绝缘层、所述保护层及所述第二高压绝缘层均露出所述第一端的端面，且均收容在所述第二端内。

可选地，所述第一高压绝缘层、所述保护层及所述第二高压绝缘层露出所述第一端的端面大致齐平；

所述导体管露出所述第一端的一端露出所述第一高压绝缘层。

可选地，所述第二端的侧壁设有第二通孔，所述锁件包括第一固定孔，所述导体管远离所述第二伸出部的一端的侧壁设有第二固定孔，所述第一固定孔、所述第二固定孔及所述第二通孔对准；