[实用新型]一种蚀刻调节装置以及蚀刻系统

说明书

本实用新型属于蚀刻技术设备领域，尤其涉及一种蚀刻调节装置以及蚀刻系统。蚀刻调节装置包括动力结构和调节结构。动力结构包括第一从动轴、设置于第一从动轴的第一滚轮、第二从动轴以及设置于第二从动轴上的第二滚轮，第一从动轴和第二从动轴的轴向均水平设置，第一从动轴和第二从动轴沿竖直方向间隔设置，目标物的两侧板面分别抵接第一滚轮和第二滚轮。调节结构包括底座以及调节组件，底座呈长条状，并开设有转动槽，第一从动轴和第二从动轴的一端均转动设置于转动槽，调节组件包括连接底座的调节板和连接调节板的调节件。本实用新型可以调节第一从动轴和第二从动轴之间的间距，使之与电路板的板厚适配，以有效且平稳传送电路板。

技术领域

本实用新型属于蚀刻技术设备领域，尤其涉及一种蚀刻调节装置以及蚀刻系统。

背景技术

目前，玻璃基板是制造平板显示器的主要材料，广泛应用于液晶显示器、等离子显示屏、触控屏、有机发光显示器等领域。随着当今世界高新技术产品飞速发展，对平板显示器的轻薄化要求越来越高，因而玻璃基板的减薄工艺成了终端显示产品能否实现薄型化的核心问题之一。所谓减薄就是用化学药液将玻璃基板均匀蚀刻至目标厚度。目前常见的减薄工艺包括有浸泡式和喷淋式。

喷淋式减薄是通过从动辊轮将电路板输送至喷淋蚀刻区，药水通过喷嘴而喷洒在电路板上。通常从动辊轮成对设置，电路板夹持在两成对设置的从动辊轮之间，进而实现电路板的传送。

但是，针对不同厚度的电路板，两从动辊轮之间的间距不同，其次，在长时间使用后，两从动辊轮之间的间距也会增大，从而不便于电路板的有效传送。

实用新型内容

本申请实施例的目的在于提供一种蚀刻调节装置，旨在解决的问题如何对两成对设置的从动辊轮之间的间距进行有效调节的问题。

为实现上述目的，本申请采用的技术方案是：提供一种蚀刻调节装置，用于传送目标物，其中，所述目标物呈板状，所述蚀刻调节装置包括：

动力结构，包括第一从动轴、设置于所述第一从动轴的第一滚轮、第二从动轴以及设置于所述第二从动轴上的第二滚轮，所述第一从动轴和所述第二从动轴的轴向均水平设置，所述第一从动轴和所述第二从动轴沿竖直方向间隔设置，所述目标物的两侧板面分别抵接所述第一滚轮和所述第二滚轮；以及

调节结构，包括底座以及调节组件，所述底座呈长条状，并开设有转动槽，所述第一从动轴和所述第二从动轴的一端均转动设置于所述转动槽，所述调节组件包括连接底座的调节板和连接所述调节板的调节件，所述调节板对应所述转动槽的位置开设有调节孔，所述调节件的一端滑动穿设所述调节孔并抵接所述第一从动轴，所述调节件朝所述第二从动轴滑动预定距离，以调节所述第一从动轴与所述第二从动轴之间的间距。

在一个实施例中，所述调节孔的孔壁开设有内螺纹，所述调节件位于所述调节孔的一端开设有与所述内螺纹适配的外螺纹。

在一个实施例中，所述调节件包括调节杆和转动耳，所述调节杆的一端开设有所述外螺纹，所述转动耳连接所述调节杆的另一端并用于供人手把持。

在一个实施例中，所述调节结构还包括具有弹性恢复力的第一弹片，所述第一弹片的两端分别连接所述转动槽的两侧槽壁，所述第一弹片弹性包裹于所述从动轴的侧表面，且所述第一从动轴的一端位于所述第一弹片与所述调节件之间。

在一个实施例中，所述调节结构还包括第二弹片，所述第一弹片与所述第二弹片沿所述调节件指向所述转动槽槽底的方向间隔设置，所述第二弹片的两端分别连接所述转动槽的两侧槽壁，且所述第二弹片朝所述转动槽的槽底包裹所述第二从动轴的侧表面。

在一个实施例中，所述底座包括呈长条状的基座以及连接所述基座的卡销，所述基座开设有容置槽，所述卡销可拆卸的插接于所述容置槽，所述转动槽开设于所述卡销。

在一个实施例中，所述卡销的两侧表面均开设有定位槽，所述容置槽的两侧槽壁分别卡设于两所述定位槽。