[实用新型]一种新型24路-3位面-柱面激光PDV探头

说明书

本实用新型公开了一种新型24路‑3位面‑柱面激光PDV探头，包括24路光纤准直器，24路光纤准直器均分为3组光纤准直器组，任意两组光纤准直器组的出光面均错位排开，每路光纤准直器的出光处均通过支架连接45°棱镜，每路光纤准直器出射的光经45°棱镜反射后相互平行；采用24路，3位面探头设计，实现光纤探头的集成化、多点探测、以及小型化，能够全方位、快速的检测目标，并传输数据；采用45°棱镜实现光路折转，实现器件内部形貌的测量；避免了直接与被测器件表面接触，又可以得到表面轮廓。

技术领域

本实用新型属于光无源器件设备技术领域，具体涉及一种新型24路-3位面-柱面激光PDV探头。

背景技术

随着工业生产的发展和科学技术的进步，产品几何结构日趋复杂，人们对于机械产品表面质量的要求越来越高，同时由于产品质量要求及微电子，微结构及生命科学的发展，表面质量的功能特征愈来愈显得重要，表面微观特性密切相关产品表面质量状况是用户评判整个产品质量的重要指标之一。而微观表面形貌能够反映工件表面质量的许多信息，在再制造性评价以及其他一些研究中，需要检测零件在磨损情况下的微观形貌，所以在零件和产品的制造生产过程中，不仅需要高效、准确对零件和产品的尺寸和表面纹理形貌以经济地方式来加工，并且能够尽可能的做到循环式利用。但是目前对表面形貌的测量尚未得到很好解决，同时零件内部尺寸及复杂轮廓难以测量等问题也尚未得到很好的解决，所以如何对复杂精细零件的表面形貌及微观特征进行快速精确检测变得尤为重要。

现代光学技术、传感器技术的飞速发展对表面形貌测量的研究产生了巨大的影响。同时为表面形貌测量的自动化、智能化与集成化程度的进一步提高提供了可能。光纤作为光的传输介质，以其衰减小、呈现多模和单模传输等优秀性能，并且光纤具有超高压绝缘、防爆防燃等特点。随着政府和研究部门高度重视与光纤产品价格日趋合理，光纤被应用于传感领域，并且随着光学、材料学、微纳米及半导体等理论与技术的飞速发展，光纤传感技术得到了高速发展，通过光纤传感技术可以检测到磁、声、电、温度、位移、应变、电压等信息参数，光纤传感技术几乎在各个领域得到研究与应用，目前在高速铁路和智慧城市的领域已近成为传感技术的先导。

将光纤传感技术应用于表面微观形貌检测，可以实现非接触的高精度测量，避免传统探针物理接触式的测量而划伤被测表面，能够充分发挥光学测量手段的优势。被检测的信息表面可以通过波长、强度、偏振态等光参数变化表现出来。并且现有的方法不能很好的测量器件内部的形貌。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种新型24路-3位面-柱面激光PDV探头，克服了现有的单光纤探头存在的探测点单一、数据采集慢的问题。

本实用新型所采用的技术方案是，一种新型24路-3位面-柱面激光PDV探头，包括24路光纤准直器，24路光纤准直器均分为3组光纤准直器组，任意两组光纤准直器组的出光面均错位排开，每路光纤准直器的出光处均通过支架连接45°棱镜，每路光纤准直器出射的光经45°棱镜反射后相互平行。

本实用新型的特点还在于：

3组光纤准直器组中任意两组光纤准直器组同向，与另一组光纤准直器组反方向。

两组同向光纤准直器组连接一个玻璃护套a，另一组反向光纤准直器组连接玻璃护套b。

玻璃护套a包括圆柱形的玻璃护套，玻璃护套内匀开设16个定位槽，两组光纤准直器组中的光纤准直器错位相隔固定在定位槽内。

每路光纤准直器上连接光纤，每个光纤外套接芯棒。

相邻两组光纤准直器组出光面之间距离为20mm。

每个45°棱镜上与光纤准直器相对的一面镀有反射膜。

本实用新型的有益效果是：