[实用新型]一种LID炉上盖板自动回收机构有效
| 申请号: | 202023225081.5 | 申请日: | 2020-12-29 |
| 公开(公告)号: | CN213660370U | 公开(公告)日: | 2021-07-09 |
| 发明(设计)人: | 吉风东;张海生 | 申请(专利权)人: | 苏州巨能图像检测技术有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
| 代理公司: | 苏州广正知识产权代理有限公司 32234 | 代理人: | 李猛 |
| 地址: | 215000 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 lid 盖板 自动 回收 机构 | ||
1.一种LID炉上盖板自动回收机构,其特征在于,包括:用于吸取并搬运料盒上盖板和电池片的搬运机构、用于存放料盒上盖板的盖板暂存平台、用于传输料盒的料盒输送线、用于传输电池片的电池片输送线,所述电池片输送线位于料盒输送线和盖板暂存平台之间,所述搬运机构设置于电池片输送线、料盒输送线和盖板暂存平台的上方,
所述搬运机构包括平移模组、支撑件、安装板、盖板吸附单元、电池片吸附单元,所述平移模组带动所述支撑件来回运动,所述安装板设置于所述支撑件的下部,所述安装板上设置有盖板吸附单元和电池片吸附单元,
所述盖板吸附单元包括升降单元、第一吸盘架、第一吸盘,所述升降单元设置于所述安装板上,并带动所述第一吸盘架上下运动,所述第一吸盘架上设置有多个第一吸盘,所述电池片吸附单元包括第二吸盘架、第二吸盘,所述第二吸盘架的上端与安装板相连接,另一端上连接有所述第二吸盘。
2.根据权利要求1所述的一种LID炉上盖板自动回收机构,其特征在于,所述第二吸盘为伯努利吸盘。
3.根据权利要求2所述的一种LID炉上盖板自动回收机构,其特征在于,所述伯努利吸盘上连接有真空气流调速阀和真空气流发生装置。
4.根据权利要求1所述的一种LID炉上盖板自动回收机构,其特征在于,升降单元为气缸。
5.根据权利要求1所述的一种LID炉上盖板自动回收机构,其特征在于,所述安装板为工字型结构。
6.根据权利要求1所述的一种LID炉上盖板自动回收机构,其特征在于,安装板的一侧的两端上各连接有一盖板吸附单元,另一侧的两端上各连接有一电池片吸附单元。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





