[实用新型]一种红外光电材料铅盐薄膜的退火设备

权利要求书

1.一种红外光电材料铅盐薄膜的退火设备，其特征在于，包括加热装置，所述加热装置内设置气氛系统，所述气氛系统用于调节气氛及流速；所述加热装置（1）底部中间位置放置铅盐光敏薄膜（3）；所述铅盐光敏薄膜（3）两端均设置电极；所述电极通过电阻测试夹具连接电阻测试设备（6），所述电阻测试设备（6）上设置显示器（8），所述显示器（8）用于观察电阻曲线变化，电阻曲线到达凸点完成退火。

2.根据权利要求1所述的设备,其特征在于,所述气氛系统包括进气口（2）和出气口（4），所述进气口（2）和所述出气口（4）分别设置在所述加热装置（1）左右两端。

3.根据权利要求2所述的设备,其特征在于,所述进气口（2）和出气口（4）的流经气体为单一或多种混合气体成分及碘蒸气。

4.根据权利要求2所述的设备，其特征在于，所述进气口（2）和出气口（4）上分别设有阀门和流量计，所述阀门用于调节气体成分和流速。

5.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，用于退火的铅盐光敏薄膜（3）使用热蒸发的物理气相沉积法或化学水浴法制成，薄膜厚度在0.5~3um。

6.根据权利要求4所述的设备，其特征在于,所述铅盐光敏薄膜（3）包括硫化铅、硒化铅、碲化铅薄膜材料。

7.根据权利要求1所述的设备,其特征在于,所述电阻测试夹具包括夹持部分和电信号传输部分。

8.根据权利要求7所述的设备,其特征在于,所述夹持部分为松紧夹，用于固定铅盐光敏薄膜和接触铅盐光敏薄膜（3）；所述电信号传输部分为电导线（5），一端接连夹持部分，另一端固定于电阻测试设备（6）上。

9.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述加热装置（1）加热温度为200～500℃。

10.根据权利要求1所述的设备,其特征在于,所述电极依次利用光刻、溅射电极、剥离电极制备。