[实用新型]一种可调节切片厚度的多线切割机

说明书

一种可调节切片厚度的多线切割机，它针对现有多线切割机中切割辊总成和工作台总成结构进行改进设计，所述切割辊总成由主轴、切割驱动机构和支撑轮部件组成，所述主轴平行设置三组，在每一组主轴上设置若干主轴导轮，三组主轴在切割驱动机构驱动下同向运转，所述支撑轮部件平行设置两组，在每一组支撑轮部件中设置支撑导轮，切割线在主轴导轮和支撑导轮上缠绕形成切割线网；所述工作台总成中增设前后平移机构，所述前后平移机构包括固定部件和移动部件，在所述移动部件上布置待切割工件，待切割工件可随移动部件实现前后位置调整。本实用新型达到了改善多线切割机设备通用性能、减少切割辊更换频次、降低生产成本、提高工作效率的目的。

技术领域

本实用新型涉及一种多线切割机，尤其是一种适于不同厚度切片加工的可调节切片厚度的多线切割机。

背景技术

多线切割是通过金属丝的高速往复运动，把磨料带入半导体加工区域进行研磨，将半导体等硬脆材料一次同时切割为数百片薄片的一种新型切割加工方法。目前数控多线切割机已逐渐取代了传统的内圆切割，成为硅片切割加工的主要方式。

现有技术中，多线切割机中金属丝线通过十几个导线轮的引导，在切割辊上形成一张平行的切割线网，而待切割工件通过工作台的升降实现垂直方向的进给，由于在切割线网中的金属丝线为等距离排布，切割后得到的切片厚度完全一致，为实现不同厚度切片的加工作业，需更换切割辊，由此不仅需配置多种规格的切割辊配件，提高了生产成本，而且增加了设备重新装配及调试的工作量，降低了工作效率。

实用新型内容

本实用新型提供一种可调节切片厚度的多线切割机，旨在通过对多线切割机工作台及切割辊结构的改进设计，达到改善多线切割机设备通用性能、减少切割辊更换频次、降低生产成本、提高工作效率的目的。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种可调节切片厚度的多线切割机，其特别之处在于：它针对现有多线切割机中切割辊总成和工作台总成结构进行改进设计，所述切割辊总成由主轴、切割驱动机构和支撑轮部件组成，所述主轴平行设置三组，三组主轴中心轴线位于同一水平面内，在每一组主轴上设置若干主轴导轮，三组主轴在切割驱动机构驱动下同向运转，所述支撑轮部件平行设置两组，在每一组支撑轮部件中设置数量与一组主轴上主轴导轮数量一致的支撑导轮，所述支撑导轮安装在与主轴平行布置的导轮支架上，切割线在主轴导轮和支撑导轮上缠绕形成切割线网，相邻两组主轴之间的切割线网形成一个切割区域；所述工作台总成中增设前后平移机构，所述前后平移机构包括固定部件和移动部件，在所述移动部件上布置待切割工件，待切割工件可随移动部件实现前后位置调整。

上述可调节切片厚度的多线切割机，所述前后平移机构中固定部件包括固定架、导轨、平移电机、平移传动带轮组件和丝杆；所述固定架安装在多线切割机的机架上，在固定架上下端面安装导轨；所述平移电机安装在固定架下方，其输出轴与平移传动带轮组件的动力输入端装配；所述平移传动带轮组件的动力输出端与丝杆一端装配；所述丝杆另一端与移动部件配装。

上述可调节切片厚度的多线切割机，所述前后平移机构中移动部件包括移动架、滑块和驱动块；所述移动架为一侧开口的矩形框架，在其上下端面内侧安装滑块；所述滑块与固定部件中导轨配装；所述驱动块为带有螺纹孔的矩形块，驱动块安装在移动架下端面上，驱动块螺纹孔与固定部件中丝杆配装，两者组成丝杆螺母传动单元。

上述可调节切片厚度的多线切割机，所述平移电机采用伺服电机。

上述可调节切片厚度的多线切割机，所述切割辊总成中切割驱动机构包括主轴电机和主轴传动带轮组件，所述主轴电机通过主轴传动带轮组件驱动三组主轴同步运转。

上述可调节切片厚度的多线切割机，所述主轴导轮和支撑导轮上设置数量一致的切割线槽，切割线槽数量不少于三组。