[实用新型]半导体工艺设备及其托盘旋转机构的检测装置

权利要求书

1.一种半导体工艺设备中托盘旋转机构的检测装置，所述托盘旋转机构包括旋转轴、旋转臂和连接件，所述连接件连接所述旋转轴和所述旋转臂，所述旋转轴带动所述旋转臂旋转，所述旋转臂带动托盘旋转，其特征在于，所述检测装置包括第一检测件和第二检测件，所述第一检测件固定设置在所述旋转轴和所述旋转臂两者中的一者上，所述第二检测件固定设置在所述旋转轴和所述旋转臂两者中的另一者上，所述第一检测件和所述第二检测件相对设置，用于配合检测所述旋转轴和所述旋转臂的旋转同步性。

2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述第一检测件为发射传感器，所述第二检测件为接收传感器，所述发射传感器用于向所述接收传感器发射检测信号，所述接收传感器用于接收所述检测信号，并在接收到所述检测信号时输出同步信号，所述同步信号用于指示所述旋转轴和所述旋转臂同步旋转。

3.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述第一检测件为发射传感器，所述第二检测件为反射件，所述发射传感器用于向所述反射件发射检测信号，接收所述反射件反射回的反射信号，并在接收到所述反射信号时输出同步信号，所述同步信号用于指示所述旋转轴和所述旋转臂同步旋转。

4.根据权利要求1至3中任意一项所述的检测装置，其特征在于，所述第一检测件和所述第二检测件分别通过转接件与所述旋转轴和所述旋转臂固定连接，所述转接件与所述旋转轴和所述旋转臂固定连接，所述第一检测件和所述第二检测件分别与所述转接件固定连接。

5.根据权利要求1至3中任意一项所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括第三检测件和第一触发件；

所述第三检测件用于在被触发时输出到位信号，所述到位信号用于指示所述托盘处于预设的工艺位置；

所述第一触发件固定设置在所述旋转轴上，且所述第一触发件被配置为当所述旋转臂带动所述托盘旋转至所述工艺位置时，触发所述第三检测件。

6.根据权利要求5所述的检测装置，其特征在于，所述第一触发件包括触发部和连接部，所述连接部可移动地与所述旋转轴连接，所述触发部与所述连接部相连，用于触发所述第三检测件。

7.根据权利要求6所述的检测装置，其特征在于，所述连接部朝向所述旋转轴的表面与所述旋转轴贴合；

所述触发部从所述连接部上凸出。

8.根据权利要求1至3中任意一项所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括第四检测件和第二触发件，

所述第四检测件用于在被触发时输出归位信号，所述归位信号用于指示所述托盘处于预设的初始位置；

所述第二触发件固定设置在所述旋转轴上，被配置为当所述旋转臂带动所述托盘旋转至所述初始位置时，触发所述第四检测件。

9.根据权利要求2或3所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括控制器，所述控制器用于在接收所述同步信号时，确定所述旋转轴和所述旋转臂同步旋转，在未接收到所述同步信号时，确定所述旋转轴和所述旋转臂未同步旋转。

10.一种半导体工艺设备，包括托盘旋转机构，其特征在于，还包括如权利要求1至9中任意一项所述的托盘旋转机构的检测装置。