[实用新型]一种钛丝退火炉

说明书

本实用新型公开了一种钛丝退火炉，包括支架，所述支架上设置底箱、安装板、滑杆、转杆和炉体，所述底箱上设置有底盒，所述底盒滑动连接在所述底箱内，所述底盒上设置有两个拉动把手，所述安装板上设置有转动机构，所述滑杆设置有两个，两个所述滑杆上分别设置有滑块，两个所述滑块上分别设置有支杆，两个所述支杆上设置有盖板，所述转杆上设置有两个转盘和转轮，两个所述转盘上分别设置有铁丝，两个所述铁丝分别与两个所述支杆连接，所述转轮上设置有铁链，所述铁链一端与转轮连接另一端与所述转动机构连接，本实用新型的可以使得盖板进行升降，将底盒从底箱内拉出，方便控制退火炉内的温度，提高了退火炉的热处理效率。

技术领域

本实用新型属于热处理设备技术领域，具体涉及一种钛丝退火炉。

背景技术

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。

然而现有的钛丝退火炉，不能对底盒进行移动，不能将盖板进行移动对炉体进行密封，不方便对退火炉进行控制温度，影响退火炉的热处理效率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种钛丝退火炉，可以对底盒进行移动，可以将盖板进行移动对炉体进行密封，方便对退火炉进行控制温度，提高了退火炉的热处理效率，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种钛丝退火炉，包括支架，所述支架上设置底箱、安装板、滑杆、转杆和炉体，所述底箱上设置有底盒，所述底盒滑动连接在所述底箱内，所述底盒上设置有两个拉动把手，所述安装板上设置有转动机构，所述滑杆设置有两个，两个所述滑杆上分别设置有滑块，两个所述滑块上分别设置有支杆，两个所述支杆分别通过轴承与两个所述滑块转动连接，两个所述支杆上设置有盖板，所述转杆上设置有两个转盘和转轮，两个所述转盘上分别设置有铁丝，两个所述铁丝分别与两个所述支杆连接，所述转轮上设置有铁链，所述铁链一端与转轮连接另一端与所述转动机构连接。

较佳的，所述转动机构包括伺服电机和连接杆，所述伺服电机通过螺钉固定安装在所述安装板上，所述连接杆通过联轴器与所述伺服电机的输出轴传动连接。

通过上述技术方案，伺服电机带动转轮进行转动，进而带动转盘转动对铁丝进行收卷。

较佳的，所述伺服电机上设置有保护箱。

通过上述技术方案，保护箱的设置可以对伺服电机有一定保护作用。

较佳的，所述支架底部设置有支腿，所述支腿设置有四个。

通过上述技术方案，支腿的设置有一定高度，方便工作人员操作。

较佳的，四个所述支腿上设置有若干个加强杆。

通过上述技术方案，加强杆的设置可以使得支腿更加牢固稳定。

较佳的，四个所述支腿上均设置有滚轮。

通过上述技术方案，滚轮的设置可以使得退火炉可以进行移动。

较佳的，所述支架上设置有放置架。

通过上述技术方案，放置架的设置可以放置使用工具，方便工作人员使用。

综上所述，本实用新型主要具有以下有益效果：

1、依靠两个转盘进行转动对铁丝进行收卷，使得盖板可以进行升降，对炉体进行密封。

2、利用拉动两个拉动把手可以将底盒从底箱内拉出，方便控制退火炉内的温度，提高了退火炉的热处理效率。