[实用新型]一种加速器电子枪束流检测装置

权利要求书

1.一种加速器电子枪束流检测装置，应用在加速器上，所述加速器包括有加速管和电子枪，所述电子枪设置在所述加速管的顶部处，其特征在于：包括有控制器、变频驱动器、传动部件、发电机、变压器、测量传感器，所述控制器与所述变频驱动器控制连接，所述变频驱动器与所述发电机的输入轴通过所述传动部件传动连接，所述发电机的输出端与所述电子枪通过一导线连接且所述发电机与所述电子枪之间设置有所述变压器，所述测量传感器设置在所述电子枪的真空室内以及出束口处且与所述控制器控制连接。

2.根据权利要求1所述的一种加速器电子枪束流检测装置，其特征在于：所述测量传感器包括真空测量传感器和束流检测传感器，所述真空测量传感器通过一真空测量回路与所述控制器连接，所述束流检测传感器通过一束流检测回路与所述控制器连接。

3.根据权利要求2所述的一种加速器电子枪束流检测装置，其特征在于：所述变频驱动器为变频电机，所述变频电机的输出轴与所述传动部件通过一联轴器传动连接。

4.根据权利要求3所述的一种加速器电子枪束流检测装置，其特征在于：所述传动部件包括有传动杆和驱动杆，所述传动杆与所述变频电机的输出轴通过所述联轴器传动连接，所述驱动杆的两端分别与所述传动杆和所述发电机的输入轴固定连接。

5.根据权利要求4所述的一种加速器电子枪束流检测装置，其特征在于：所述发电机的输入轴与所述传动杆相互平行设置且均与所述驱动杆垂直设置。

6.根据权利要求4所述的一种加速器电子枪束流检测装置，其特征在于：所述传动杆在与所述驱动杆固定的一端处设置有一绝缘座。