[实用新型]一种大型退火炉用旋转进出料装置

说明书

本实用新型属于大型退火炉技术领域，尤其为一种大型退火炉用旋转进出料装置，包括转筒，将需要退火的物料加入集料斗，再通过隔板进入转筒内，转筒内的下料孔与通孔重合，可将物料下落至出料管内，再由下料管进入转接管，通过转接管可进入退火炉内进行退火，转接管带动下料管以及转筒和集料斗反转，再通过转接管以及下料管可将物料排至出料管内，使电机带动转筒转动，当下料孔与通孔和出料管重合时，物料可由集料斗排出，进而实现了旋转进出料的效果，使电机带动转轴转动，促使转轴带动支板以及转筒转动，当下料孔与通孔重合时，同时通孔与出料管连通时，可使物料顺利下落至出料管内，由下料管输送至退火炉内，进而实现了旋转进料的效果。

技术领域

本实用新型涉及大型退火炉技术领域，具体涉及一种大型退火炉用旋转进出料装置。

背景技术

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，热处理是针对不同的效果而设计的，退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理，退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。

但现有的大型退火炉装置，大多都是直接进料和出料，且不能够进行旋转因进料和出料使用的使两个不同的设备，导致制作成本较高。

实用新型内容

为解决上述背景技术中提出的问题，本实用新型提供了一种大型退火炉用旋转进出料装置，具有进料和出料采用同一个设备，同时可进行旋转进出料的特点。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种大型退火炉用旋转进出料装置，包括退火炉，所述退火炉的左侧设置有集料斗，所述集料斗的下端面固定连接有隔板，所述隔板的下端面安装有转筒，所述转筒的下端面固定连接有支板，所述转筒的上端面贯穿开设有多个均匀分布的下料孔，多个所述下料孔的下端面均贯穿支板并延伸至支板的下端面，所述支板的下端面安装有固定板，所述固定板的下端面连通有出料管，所述出料管的右侧连通有下料管，所述退火炉的左侧连通有转接管，所述转接管与下料管的另一端连通。

为了实现旋转进料的效果，作为本实用新型一种大型退火炉用旋转进出料装置优选的，所述固定板的内部开设有多个与下料孔相匹配的通孔，所述固定板的下方设置有电机，所述电机位于出料管的左侧，所述电机的输出端固定连接有转轴，所述转轴的上端面贯穿固定板并延伸至支板的下端面。

为了使集料斗内的物料顺利下落至转筒内，作为本实用新型一种大型退火炉用旋转进出料装置优选的，所述隔板的内部安装有遮挡板，所述遮挡板的右侧固定连接有转块，所述转块位于隔板的右侧。

为了使转接管顺利转动，作为本实用新型一种大型退火炉用旋转进出料装置优选的，所述退火炉的左侧开设进料口，所述进料口与转接管连通，所述转接管和退火炉的左侧之间安装有两个活动轴。

为了实现旋转出料，作为本实用新型一种大型退火炉用旋转进出料装置优选的，所述转接管的上端面固定连接有转动杆。

为了控制下料的速度，避免速度太快导致将转筒堵塞，作为本实用新型一种大型退火炉用旋转进出料装置优选的，所述集料斗为漏斗状。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、该种大型退火炉用旋转进出料装置，将需要退火的物料加入集料斗，再通过隔板进入转筒内，通过转筒内的下料孔与通孔重合，可将物料下落至出料管内，再由下料管进入转接管，通过转接管可进入退火炉内进行退火，当出料时，可旋转转接管，使转接管带动下料管以及转筒和集料斗反转，再通过转接管以及下料管可将物料排至出料管内，使电机带动转筒转动，当下料孔与通孔和出料管重合时，物料可由集料斗排出，进而实现了旋转进出料的效果。

2、该种大型退火炉用旋转进出料装置，启动电机，使电机带动转轴转动，促使转轴带动支板以及转筒转动，当下料孔与通孔重合时，同时通孔与出料管连通时，可使物料顺利下落至出料管内，由下料管输送至退火炉内，进而实现了旋转进料的效果。