[实用新型]一种基于外延炉生产用废气处理装置

说明书

本实用新型提供一种基于外延炉生产用废气处理装置。所述基于外延炉生产用废气处理装置，包括：外延炉本体、收集箱和过滤框，所述外延炉本体的一侧设置有排气管，所述排气管的另一端连通有扩散管，所述扩散管的另一端连通有废气处理框，所述废气处理框内壁的顶部和底部均开设有T形槽，两个所述T形槽的内部均卡接有T形块，两个所述T形块相对的一侧之间固定连接有支撑框。本实用新型提供的基于外延炉生产用废气处理装置，通过微型电机的输出端转动带动凸轮转动，间接带动过滤框左右震动，通过过滤框的震动使得过滤网表面吸附的大颗粒杂质掉落下来，从而避免了杂质堵塞过滤网，从而提高了过滤网的过滤效果，提高了废气处理的效率。

技术领域

本实用新型涉及外延炉生产技术领域，尤其涉及一种基于外延炉生产用废气处理装置。

背景技术

外延炉是用来将金属源气分解并将金属源气渡在半导体外延片表面的装置，使用方式是将半导体外延片衬底置于外延炉中，将硅源源气及碳源源气通入外延炉中，在1600℃左右的高温下源气分解后反应生成半导体并沉积于衬底上，从而将半导体外延片制作为高温、高频、大功率和强辐射电力电子器件的理想半导体材料。

外延炉在使用过程中需要配合废气处理装置进行使用，通过废气处理装置将外延炉排出的金属源气进行收集净化，但是现有的废气处理装置不便于对过滤网的表面进行清洁处理，从而使得过滤网在受用一端时间后表面会吸附大量的大颗粒杂质，由于大量的大颗粒杂质吸附在过滤网的表面容易造成过滤网的大面积堵塞，过滤网发生堵塞后极大的降低了过滤效果，进而降低了工作效率。

因此，有必要提供一种基于外延炉生产用废气处理装置解决上述技术问题。

实用新型内容

本实用新型提供一种基于外延炉生产用废气处理装置，解决了现有的废气处理装置不便于对过滤网的表面进行清洁处理的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供的基于外延炉生产用废气处理装置，包括：外延炉本体、收集箱和过滤框，所述外延炉本体的一侧设置有排气管，所述排气管的另一端连通有扩散管，所述扩散管的另一端连通有废气处理框，所述废气处理框内壁的顶部和底部均开设有T形槽，两个所述T形槽的内部均卡接有T形块，两个所述T形块相对的一侧之间固定连接有支撑框，所述过滤框内壁的顶部和底部之间设置有过滤网，所述过滤框靠近外延炉本体的一侧固定连接有第一连接杆，所述第一连接杆的另一端固定连接有助推板，所述废气处理框内壁的顶部且位于T形槽的右侧固定连接有微型电机，所述微型电机的输出端固定连接有凸轮，所述废气处理框内壁的顶部和底部且位于支撑框的左侧均固定连接有固定板，所述过滤框远离外延炉本体的一侧固定连接有两个第二连接杆，两个所述固定板与第二连接杆相对的一侧之间均设置有复位弹簧，所述微型电机通过外接控制开关与外界电源电性连接，所述废气处理框的正面设置有卡紧件，通过卡紧件对支撑框进行卡紧，且通过T形槽与T形块的设置便于工作人员对支撑框的拆装，从而提高了工作人员对过滤网清洁维护的便捷性。

优选的，所述过滤框靠近外延炉本体的一侧且位于第一连接杆的底部开设有四个开口槽，四个所述开口槽的内部均开设有矩形槽，四个所述矩形槽远离开口槽的一侧均开设有柱形槽，所述开口槽与矩形槽呈十字形设置。

优选的，所述收集箱上贯穿有四个转动杆，四个所述转动杆靠近过滤框的一端均固定连接有卡紧块，四个所述转动杆的另一端固定连接有转动把手，四个所述转动把手与收集箱相对的一侧之间均设置有卡紧弹簧，且所述卡紧弹簧套设于转动杆的外表面。

优选的，所述支撑框内壁的正面和背面均开设有滑槽，两个所述滑槽的内部均滑动连接有滑块，两个所述滑块相对的一侧分别固定连接于过滤框的正面和背面。

优选的，所述废气处理框的顶部贯穿有水管，所述水管的底端连通有喷头，所述水管与外界供水管相连接，通过外界的供水管给喷头提供水源。