[实用新型]一种单晶炉埚托拆装工装

说明书

一种单晶炉埚托拆装工装，包括设在在埚托上方用于提拉埚托的支架，支架的外侧设有至少两个夹持机构，夹持机构用来抱紧埚托，通过移动支架从而实现埚托的拆装。本实用新型提供了一种单晶炉埚托拆装工装，能够改变埚托系统的拆装方式，减少石墨软毡使用消耗，降低热场拆装风险，缩短拆装作业工时，降低劳动强度，提高单晶产量，降低开炉成本。

技术领域

本实用新型涉及单晶炉工装领域，尤其涉及一种单晶炉埚托拆卸工装。

背景技术

单晶硅，又称硅单晶，是一种半导体材料。单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主) 环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。单晶直径在生长过程中可受到温度，提拉速度与转速，坩埚跟踪速度与转速，保护气体的流速等因素的影响。其中温度主要决定能否成晶，而速度将直接影响到晶体的内在质量，而这种影响却只能在单晶拉出后通过检测才能获知。温度分布合适的热场，不仅单晶生长顺利，而且品质较高。

现有的热场系统一般包含顶部保温，上、中、下保温以及底部保温，保温由内部石墨或碳碳保温筒包裹石墨软毡组成，坩埚系统从下至上由石墨拖杆下轴、石墨埚托、碳碳埚帮组成。现阶段热场一般为28吋、30吋、32吋大尺寸热场，上部、中部、下部保温系统的外径最大可达1.5-2m,随之但次投料量的增多，起着支撑作用的石墨埚托，单体重量也随之增加。单晶炉拆装炉时，石墨埚托较多采用徒手拆装作业。在拆装过程中，特别是高温拆炉时，因埚托单体重量增加，导致人工拆装作业时损坏热场件及人身烫伤风险增大，影响单晶拉制产量，增加了生产成本。

现有埚托拆装方式，易造成石墨软毡损耗，存在烫伤风险，热场件损坏风险增加，拆装工时长，对人员体力要求增高，增加了生产成本，在一定程度上影响到单晶硅的拉制。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种单晶炉埚托拆装工装，能够改变埚托系统的拆装方式，减少石墨软毡使用消耗，降低热场拆装风险，缩短拆装作业工时，降低劳动强度，提高单晶产量，降低开炉成本。

本实用新型所解决的技术问题可以采取以下方案来实现：一种单晶炉埚托拆装工装，其特征在于，包括用于设在埚托上方的支架，支架的外侧设有至少两个夹持机构，夹持机构用来抱紧埚托，通过移动支架从而实现埚托的拆装。

较佳的是，所述夹持机构包括抱臂，抱爪，连接耳板，第一销轴，第二销轴；所述连接耳板固定在支架外侧，抱臂一端通过第二销轴非固定连接于连接耳板，抱臂另一端固定连接抱爪，第一销轴贯穿连接耳板和抱臂，通过抽拉第一销轴控制抱臂运动，从而带动抱爪运动，以抱紧或松开埚托。

较佳的是，所述第一销轴为自复位销轴。

较佳的是，所述支架外侧设有手柄。

较佳的是，所述手柄对称设置于支架的外侧。

较佳的是，所述支架的形状为圆形。

较佳的是，所述抱爪侧面为折线形构造，折角不大于90°。

较佳的是，所述抱爪内侧壁均设有用于增加摩擦阻力的耐热材料。

较佳的是，所述增加摩擦阻力的耐热材料为石墨毡垫。

本实用新型的优点是结构简单，能够改变埚托系统的拆装方式，减少石墨软毡使用消耗，降低热场拆装风险，缩短拆装作业工时，降低劳动强度，提高单晶产量，降低开炉成本。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型单晶炉埚托拆装工装结构示意图