[实用新型]一种三氯氢硅废气净化处理装置

权利要求书

1.一种三氯氢硅废气净化处理装置，包括第一净化仓(19)，其特征在于：所述第一净化仓(19)的底部固定连接有转接箱(10)，所述转接箱(10)的底部固定连接有第一注入管(11)，所述第一注入管(11)的顶端且位于转接箱(10)的内部固定连接有弹性拉伸管(9)，所述转接箱(10)的内部固定连接有第一微型电机(25)，所述第一微型电机(25)与转接箱(10)内部的转轴外部传动连接有第一传动带(26)，所述第一传动带(26)的外部传动连接有两个齿轮(28)，两个所述齿轮(28)的内部套设有连接移动杆(27)，所述连接移动杆(27)的一端固定连接有转接管(8)，所述弹性拉伸管(9)的顶端固定连接于转接管(8)的底端。

2.根据权利要求1所述的三氯氢硅废气净化处理装置，其特征在于，所述第一净化仓(19)内壁底部的控制阀顶部固定连接有连接管(14)，所述第一净化仓(19)内壁的底部固定连接有溶液排出箱(12)，所述溶液排出箱一侧的入口与连接管(14)的一端固定连接。

3.根据权利要求1所述的三氯氢硅废气净化处理装置，其特征在于，所述第一净化仓(19)的一侧固定连接有两根固定杆(17)，两根所述固定杆(17)的一端固定连接有溶液存储箱(13)，所述溶液存储箱(13)的排出口固定连接有第二注入管(15)，所述第二注入管(15)贯穿并延伸至第一净化仓(19)内部的外表面固定连通有三根独立输液管(16)，三根所述独立输液管(16)的底端均固定连接有三个喷淋头(18)。

4.根据权利要求1所述的三氯氢硅废气净化处理装置，其特征在于，所述第一净化仓(19)的顶部通过支撑杆固定连接有传输箱(21)，所述传输箱(21)的内部固定连接有若干净化吸收板(22)，所述传输箱(21)内壁的一侧固定连接有第二开关控制阀(23)，所述传输箱(21)底部的入口处与第一净化仓(19)顶部的出口处之间固定连接有连通管(20)。

5.根据权利要求1所述的三氯氢硅废气净化处理装置，其特征在于，所述第一净化仓(19)的另一侧固定连接有第二净化仓(2)，所述第二净化仓(2)的内部从下往上依次固定连接有传导风扇(6)、活性炭过滤盒(3)，所述第二净化仓(2)内壁的两侧之间转动连接有排气管(1)，所述排气管(1)且位于第二净化仓(2)内部的底端外表面开设有排气格网(24)。

6.根据权利要求5所述的三氯氢硅废气净化处理装置，其特征在于，所述第二净化仓(2)另一侧固定连接有两个固定环(4)，两个所述固定环(4)的内部套设有二次净化管(5)。

7.根据权利要求5所述的三氯氢硅废气净化处理装置，其特征在于，所述第二净化仓(2)的一侧顶部固定连接有第二微型电机(31)，所述排气管(1)且位于第二净化仓(2)外部的外表面固定连接有齿环(29)，所述第二微型电机(31)输出轴的外部与齿环(29)的外部传动连接有第二传动带(30)。