[实用新型]一种具有吹扫气路结构的旋板阀以及投料清理系统

说明书

本实用新型提供一种具有吹扫气路结构的旋板阀以及投料清理系统，包括旋板阀腔室和安装于旋板阀腔室下端出口的旋转阀板；还包括旋板阀充气管道，旋板阀充气管道设置于旋板阀腔室内，并位于旋转阀板的上方；旋板阀充气管道的充气口连接至外部的惰性气体输送管路，旋板阀充气管道上分布有多个排气口，用于将旋板阀腔室内积落的硅粉及杂质吹起进入副室。本实用新型利用该旋板阀阀板吹扫气路结构，在二次投料后，对旋板阀进行吹扫清理，从而有效提高晶体生长环境的清洁度，促进生长出更高质量的晶棒。

技术领域

本实用新型涉及单晶硅生产技术领域，具体涉及一种单晶炉旋板阀的清理结构。

背景技术

随着单晶炉的发展，为提高产能，多采用二次加料等方式进行一炉多根拉制，然而在多次投料过程中，硅粉及其它粉尘杂质会从主炉室向上扩散，积落在旋板阀内，从而污染长晶环境，影响晶棒质量。

实用新型内容

本实用新型的目的是解决目前单晶炉因二次投料产生的粉尘杂质污染长晶环境、影响晶棒质量的问题。

为了实现以上目的，本实用新型提出的技术方案是：

一种具有吹扫气路结构的旋板阀，包括旋板阀腔室和安装于旋板阀腔室下端出口的旋转阀板；还包括旋板阀充气管道，所述旋板阀充气管道设置于旋板阀腔室内，并位于旋转阀板的上方；旋板阀充气管道的充气口连接至外部的惰性气体输送管路，旋板阀充气管道上分布有多个排气口，用于将旋板阀腔室内积落的硅粉及杂质吹起进入副室。

可选的，所述旋板阀充气管道的主体为环形管道，所述多个排气口在环形管道的下表面和侧面均匀分布。

可选的，所述环形管道的平面形状为正八边形。

可选的，所述环形管道连通有一个支管，所述支管的末端作为旋板阀充气管道的充气口，穿过旋板阀腔室的侧壁，与外部的惰性气体输送管路连接。

可选的，所述惰性气体输送管路为氩气充气管。

可选的，所述充气口与惰性气体输送管路的连接处设置有第一快卸卡箍。

本实用新型还提供一种投料清理系统，包括副室和取渣舱，还包括一种具有吹扫气路结构的旋板阀；所述旋板阀、取渣舱以及副室自下而上依次设置。

可选的，所述副室上部的侧壁设置有抽气组件，用于将吹起进入副室的硅粉及杂质从副室抽出。

可选的，所述抽气组件包括副室抽气管和安装在副室抽气管上的第二快卸卡箍。

本实用新型优点和效果是：

本实用新型通过充入的氩气从旋板阀充气管道上开的孔向四周进行吹扫，将旋板阀上积落的硅粉及其它粉尘杂质吹起，副室上设有抽气口，会将吹起的硅粉及其它粉尘杂质从副室抽气管抽走。因此，利用该旋板阀阀板吹扫气路结构，在二次投料后，对旋板阀进行吹扫清理，从而有效提高晶体生长环境的清洁度，促进生长出更高质量的晶棒。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1为本实用新型的吹扫气路结构示意图。

图2为旋板阀充气管道的结构示意图。

其中，附图标记的含义为：

1-旋转提拉头，2-副室，3-取渣舱，4-二次投料筒，5-硅料，6-旋板阀，7-旋转阀板，8-炉盖，9-主炉室，10-坩埚，11-底座，12-快卸卡箍，13-副室抽气管，14-氩气充气管，15-旋板阀充气管道。

具体实施方式