[实用新型]用于干法蚀刻设备机械手臂不间断供电的电池更换系统

说明书

本实用新型公开一种用于干法蚀刻设备机械手臂不间断供电的电池更换系统，包括机械臂，所述机械臂内设有编码器，编码器与电池连接并由电池供电；所述机械臂通过电线与上连接线槽连接，所述上连接线槽布置在万能焊接板的上表面，每个上连接线槽与万能焊接板下表面的一个备用线槽和一个下连接线槽相对应，所述备用线槽和下连接线槽用于放置电池块。本实用新型的电池更换系统，利用不间断供电的方式，代替传统更换电池时直接拆掉电池进行更换的方式，避免了机械臂位置信息丢失，操作过程中更加快捷、方便。

技术领域

本实用新型涉及一种用于干法蚀刻设备机械手臂不间断供电的电池更换系统。

背景技术

机械手臂在干法蚀刻过程中起重要作用，将准备好的晶圆通过托盘运送到指定位置进行蚀刻，蚀刻完成再将其取出。干法蚀刻设备在蓝宝石平片衬底上用标准的光刻工艺将掩膜刻出图形，利用刻蚀技术刻蚀蓝宝石，并去掉掩膜，使平片蓝宝石衬底上产生图形，以此来提高LED的发光效率。

机械手臂在运行一段时间后，内部供电的电池电量不断损耗，当电量不多时，机械手臂会报警，影响机械手臂的正常运行。此时需要更换新的供电电池，如果直接将电池取出，机械手臂会因为失去供电而程序丢失，导致在换上新电池后，必须重新校准手臂位置，增加了工作量且影响产能。

发明内容

针对上述现有技术存在的问题，本实用新型提供一种用于干法蚀刻设备机械手臂不间断供电的电池更换系统。

为了实现上述目的，本实用新型采用的用于干法蚀刻设备机械手臂不间断供电的电池更换系统，包括机械臂，所述机械臂内设有编码器，编码器与电池连接并由电池供电；

所述机械臂通过电线与上连接线槽连接，所述上连接线槽布置在万能焊接板的上表面，每个上连接线槽与万能焊接板下表面的一个备用线槽和一个下连接线槽相对应，所述备用线槽和下连接线槽用于放置电池块。

作为改进，所述上连接线槽内电线的Pin脚各引出两组线，两组线对应接入备用线槽和下连接线槽内。

作为改进，所述机械臂内的编码器由三个电池供电。

与现有技术相比，本实用新型的电池更换系统，利用不间断供电的方式，代替传统更换电池时直接拆掉电池进行更换的方式，避免了机械臂位置信息丢失，操作过程中更加快捷、方便。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图中：1、机械臂，2、第一电线，3、第二电线，4、第三电线，5、第一上连接线槽，6、第二上连接线槽，7、第三上连接线槽，8、第一备用线槽，9、第一下连接线槽，10、第二备用线槽，11、第二下连接线槽，12、第三备用线槽，13、第三下连接线槽，14、万能焊接板。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面对本实用新型进行进一步详细说明。但是应该理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限制本实用新型的范围。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术术语和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同，本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。

如图1所示，一种用于干法蚀刻设备机械手臂不间断供电的电池更换系统，包括机械臂1，所述机械臂1内设有编码器，编码器与电池连接并由电池供电；

所述机械臂1通过电线与上连接线槽连接，所述上连接线槽布置在万能焊接板10的上表面，每个上连接线槽与万能焊接板10下表面的一个备用线槽和一个下连接线槽相对应，所述备用线槽和下连接线槽用于放置电池块。

作为实施例的改进，所述上连接线槽内电线的Pin脚各引出两组线，两组线对应接入备用线槽和下连接线槽内。