[实用新型]一种基于混酸系统的原料不间断自补充机构

说明书

本实用新型公开了一种基于混酸系统的原料不间断自补充机构，涉及混酸系统技术领域。本实用新型包括罐体，罐体的前侧外壁上开设有检修槽，检修槽的右侧内壁通过螺栓与铰链固定连接，检修槽通过铰链与门板转动连接，观测槽的内部镶嵌有液位计，观测槽的上方、罐体的外侧壁上镶嵌有进料管，罐体的上方侧壁中镶嵌有调节板，调节板通过衔接管与导流柱固定连接。本实用新型通过利用密闭式结构的罐体对酸液原料进行保存，进而避免其裸露在周围环境中，同时整个原料的输送过程也在罐体的内部进行；同时也利用液压杆可带动推压板在罐体的内部上下移动，达到挤压腔室进行原料输送的工作，同时通过调节板上的泄压阀可对罐体内的气压进行实时调节。

技术领域

本实用新型属于混酸系统技术领域，特别是涉及一种基于混酸系统的原料不间断自补充机构。

背景技术

混酸系统，多运用于在半导体制程中，通常使用含有不同浓度的磷酸与多种添加剂混合而成的成品蚀刻剂，通常每种成品蚀刻剂的配方通常由配方供应厂家订制，并需要为每种配方的蚀刻剂设置一个单独的管路，具体地，通过用于不同种类成品蚀刻剂的管路分别从化学药剂厂房的不同蚀刻剂贮液罐连接到酸洗蚀刻厂房的反应槽，而在进行混酸系统都需要进行酸原料的输送工作，其中就需要对酸液原料进行补充。

现阶段中的一种基于混酸系统的原料补充机构，具有以下不足之处；

1.现阶段中的一种基于混酸系统的原料补充机构，其在使用时，多采用间歇式进行原料补充，该过程会导致酸液长时间与空气接触，造成一定量的挥发现象，进而降低酸液的品质的问题。

2.现阶段中的一种基于混酸系统的原料补充机构，其在使用时，当需要进行原料补充工作时，需要多次的投放酸液，进而造成输送管道中含有大量气泡的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种基于混酸系统的原料不间断自补充机构，通过利用密闭式结构的罐体对酸液原料进行保存，进而避免其裸露在周围环境中，同时整个原料的输送过程也在罐体的内部进行；同时也利用液压杆可带动推压板在罐体的内部上下移动，达到挤压腔室进行原料输送的工作，同时通过调节板上的泄压阀可对罐体内的气压进行实时调节，使其保持压力恒定，进而解决了现有的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：

本实用新型为一种基于混酸系统的原料不间断自补充机构，包括罐体，所述罐体的前侧外壁上开设有检修槽，检修槽的右侧内壁通过螺栓与铰链固定连接，所述检修槽通过铰链与门板转动连接，门板上安装有门锁，所述门板的左侧外壁通过扣锁与检修槽固定锁定连接，所述罐体的右侧外壁上开设有观测槽，观测槽的内部镶嵌有液位计，所述观测槽的上方、罐体的外侧壁上镶嵌有进料管，所述罐体的上方侧壁中镶嵌有调节板，调节板的内部腔室与罐体的内部腔室连通设置，调节板通过衔接管与导流柱固定连接。

进一步地，所述罐体的内部底侧设置有设备腔，罐体的内侧顶部设置有储存腔，所述设备腔的底部内壁通过螺栓与固定架固定连接，所述固定架设置在设备腔的底部内侧壁的中心处。

进一步地，所述固定架的内部安装有液压杆，所述液压杆的伸缩末端侧壁通过固定轴与推压板的底部侧壁固定连接，推压板的外侧壁上粘接有密封圈，所述推压板通过密封圈与储存腔的内侧壁配合连接。

进一步地，所述储存腔的顶部的罐体的内侧壁通过螺栓与卡接板固定连接，卡接板的外侧壁上粘接有塑胶垫，所述卡接板通过塑胶垫与推压板的外壁配合连接，所述调节板内部的通槽通过空心结构的衔接管与导流柱的内部腔室连通设置。

进一步地，所述调节板呈方柱体型结构设置，调节板的内部开设有圆柱形的通槽，所述通槽的内侧壁上镶嵌有压力计和流量计，所述压力计与流量计相互对立设置，所述压力计和流量计分别镶嵌在通槽靠近罐体一侧的内壁上。

进一步地，所述调节板的后侧壁中心处开设有泄压槽，泄压槽的内部铆合连接有泄压管，所述泄压管中安装有泄压阀。