[实用新型]一种高纯度制氧机

权利要求书

1.一种高纯度制氧机，包括进气管路、冷冻式干燥机、吸附式干燥机、空气缓冲罐、氧氮分离装置、尾气回收罐、消音器、普氧缓冲罐、纯化装置、循环压缩机、高纯氧缓冲罐、再生罐以及产气管路，其特征在于：所述进气管路连接在冷冻式干燥机上，冷冻式干燥机与吸附式干燥机相连，吸附式干燥机与空气缓冲罐相连，空气缓冲罐与氧氮分离装置相连，氧氮分离装置与尾气回收罐相连，其连接管路上设有消音器，尾气回收罐与吸附式干燥机相连，氧氮分离装置还与普氧缓冲罐相连，普氧缓冲罐与纯化装置相连，纯化装置通过压缩机进气管路与循环压缩机相连，循环压缩机通过压缩机出气管路与高纯氧缓冲罐相连，高纯氧缓冲罐与纯化装置相连，纯化装置与再生罐相连，再生罐与氧氮分离装置相连，所述产气管路连接在高纯氧缓冲罐上。

2.根据权利要求1所述的高纯度制氧机，其特征在于：所述空气缓冲罐与氧氮分离装置进气管路相连，氧氮分离装置进气管路上设有截止阀调节氧氮分离装置的进气流量。

3.根据权利要求1所述的高纯度制氧机，其特征在于：所述氧氮分离装置与普氧缓冲罐相连，其连接管路上设有截止阀调节氧氮分离装置的产气流量。

4.根据权利要求1所述的高纯度制氧机，其特征在于：所述尾气回收罐与吸附式干燥机回吹管路相连，尾气回收罐收集尾气作为吸附式干燥机吹扫气使用，回吹管路上设有截止阀调节回吹流量。

5.根据权利要求1所述的高纯度制氧机，其特征在于：所述普氧缓冲罐与纯化装置相连，其连接管路上设有截止阀调节纯化装置的进气流量。

6.根据权利要求1所述的高纯度制氧机，其特征在于：所述纯化装置与循环压缩机相连，压缩机进气管路上设有过滤器及压力开关，压力开关控制循环压缩机启停，循环压缩机抽出纯化装置中的高纯度氧气送入高纯氧缓冲罐中。

7.根据权利要求1所述的高纯度制氧机，其特征在于：所述纯化装置与再生罐相连，纯化装置产生的废气一部分含氩纯度比较高的气体排放，另一部分含氩纯度低的气体收集到再生罐中作为氧氮分离装置的回吹气使用。

8.根据权利要求1所述的高纯度制氧机，其特征在于：所述产气管路上安装有粉尘过滤器、调压阀、针型阀及质量流量计。