[实用新型]具备静电消除功能的空气过滤装置

说明书

本实用新型静电防护与电子制程设备技术领域，提供一种具备静电消除功能的空气过滤装置，包括沿气流方向依次设置的风源、过滤单元和电集尘除静电系统，其中，风源用于提供空气流动的动力；过滤单元用于对空气中异物实现物理拦截；电集尘除静电系统用于对经过过滤单元的空气进行进一步的电晕集尘以及静电消除；所述电集尘除静电系统设置在过滤单元的气流方向的下游。本实用新型将由单纯滤材的物理拦截改进为滤材物理拦截+电集尘除静电技术相结合，提高了除尘效率、效果的同时还实现了静电的去除。

技术领域

本实用新型涉及静电防护与电子制程设备技术领域，特别是涉及一种具备静电消除功能的空气过滤装置。

背景技术

电子行业精密制程中，需要控制静电及空间环境的洁净度。环境空间的静电一般来于以下几个方面：（1）在采用空气过滤装置对空气进行净化时，空气穿过滤材在过滤灰尘的同时，由于空气与滤材之间的摩擦会导致空气带静电，从而释放到作业空间；（2）产业作业过程中，有很多工序会产生静电，如：撕除保护膜等。一般来说，目前静电消除是通过在工位架设静电消除器来实现；空间环境的洁净度通过放置于顶部的空气过滤单元来完成的。当前的情况是空气过滤单元主要由两部分组成，第一部分是送风的风扇或者其他风源；第二部分是玻纤等过滤材料组成的物理过滤单元。静电消除器通常安装在工位位置，为离子风机等装置，当前的布局存在的问题是离子风机等静电消除器占用产线的空间位置，且由于其内部的风源等装置，带来震动、气流扰动等困扰，引起单向流无尘室的气流扰动。空气过滤单元存在的问题是风穿过玻纤等绝缘材质时，摩擦会带来静电起电现象，从而吹出的风带有很强的极性，不利于空间的静电管控。另外，高效的空气过滤单元风阻很大，运行功耗很大。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：为了克服现有技术中的不足，本实用新型提供一种具备静电消除功能的空气过滤装置。

本实用新型解决其技术问题所要采用的技术方案是：一种具备静电消除功能的空气过滤装置，包括沿气流方向依次设置的风源、过滤单元和电集尘除静电系统，其中，风源用于提供空气流动的动力，风源包括但不限于采用风机；过滤单元采用绝缘过滤材料制成，用于对空气中异物实现物理拦截；电集尘除静电系统用于对经过过滤单元的空气进行进一步的物理过滤以及静电消除；所述电集尘除静电系统设置在过滤单元的气流方向的下游，既具有静电消除作用，同时也具有过滤灰尘的作用；由于电集尘除静电系统承担了一部分的除尘工作，因此可以减轻上游过滤单元的除尘压力，也可以降低上游过滤单元的密度，降低成本，以及降低风机的功率。本实用新型将由单纯滤材的物理拦截改进为滤材物理拦截+电晕集尘技术，提高了除尘的效率和效果的同时还实现了静电的去除。

电集尘除静电系统的除静电原理是采用高压电源向环境空间释放等量的正负离子，保证环境空间始终处于电中性的状态，如果有多于的静电则会被消耗掉。等量的正负离子是通过放电电极和高压放电电源释放的，理论上，只要正负高压电源以及正负电极相同，则就能释放等量的正负离子；但是受限于正负放电的物理特性，以及放电电极的差异性，会导致正负放电效率不同，从而使空间中正负离子数量不等。如果长时间工作，则会导致某一极性的离子的积累，因此，需要对产生的正负离子进行监控，以保证空间电荷的电中性。本实用新型中采用采集板来采集出风口处的放电电流，在采集板上形成一个电势，并通过电路对该电势进行监控，从而对空间电荷进行监控，计算一定时域范围内的电势变化，通过调节电路调节正负高压电源的放电效率，以保证正负电荷等量。

根据上述的分析，则电集尘除静电系统具体包括电晕放电集尘单元、采集板、检测电路、调节电路和高压电源，其中，高压电源与电晕放电集尘单元连接用于释放等量的正负离子；为保证电晕放电的电中性效果，在出风口下侧具有对应的离子平衡检测装置——采集板，采集板设置在电晕放电集尘单元的气流方向的下游，用于采集放电电流，并在采集板上形成电压信号；检测电路与采集板连接检测电压信号的大小；调节电路分别与检测电路和高压电源连接，用于根据电压信号调节高压电源的输出，使空间内的正负离子保持平衡。其中，高压电源包括正高压电源和负高压电源。