[实用新型]一种高温纳米压痕导体样品加热装置

权利要求书

1.一种高温纳米压痕导体样品加热装置，其特征在于，包括超高频感应加热机（8）及支撑层（3），所述支撑层（3）外部套设有第一隔热保温层（4），所述支撑层（3）下方嵌设有第二隔热保温层（5），所述第二隔热保温层（5）下方嵌设有屏蔽层（6），所述屏蔽层（6）下方嵌设有第三隔热保温层（7），所述超高频感应加热机（8）的铜丝位于第三隔热保温层（7）中心，且铜丝顶部与支撑层（3）之间的距离为小于4mm。

2.根据权利要求1所述的一种高温纳米压痕导体样品加热装置，其特征在于，所述超高频感应加热机（8）包括超高频加热机主体（801）、铜丝（802）及套在铜丝（802）外部的铜丝套（803）构成，所述超高频感应加热机的铜丝（802）上端部绕成螺旋状，且螺旋状中空处的直径为1-5mm。

3.根据权利要求1所述的一种高温纳米压痕导体样品加热装置，其特征在于，所述第三隔热保温层（7）采用三层结构，包括硅酸盐或稀土涂料层（701）、硅酸盐针刺毯层（702）及纳米气凝胶毡层（703），所述硅酸盐或稀土涂料层（701）厚度在20-30mm，所述硅酸盐针刺毯层（702）厚度为9-12mm，所述纳米气凝胶毡层（703）厚度在5-8mm。

4.根据权利要求1所述的一种高温纳米压痕导体样品加热装置，其特征在于，所述支撑层（3）采用带有倾斜角度的桶体结构，且其内壁倾斜角度为小于15°。

5.根据权利要求3所述的一种高温纳米压痕导体样品加热装置，其特征在于，所述屏蔽层（6）采用带有倾斜角度的桶体结构，且其内壁倾斜角度为小于15°，所述屏蔽层（6）底部设有圆形缺口，所述圆形缺口的直径大于铜丝（802）顶部绕成的螺旋状外圈直径与两倍纳米气凝胶毡层（703）的厚度之和。

6.根据权利要求1所述的一种高温纳米压痕导体样品加热装置，其特征在于，所述支撑层（3）采用Al₂O₃支撑层，所述第一隔热保温层（4）采用纳米气凝胶毡，其厚度在3-7mm；所述第二隔热保温层（5）也采用纳米气凝胶毡，其厚度在3-5mm；所述屏蔽层（6）采用的是不锈钢。

7.根据权利要求2所述的一种高温纳米压痕导体样品加热装置，其特征在于，所述超高频感应加热机（8）的铜丝（802）上端部绕成的螺旋状的中心与导体样品（2）的中心在同一铅垂线上。

8.根据权利要求1所述的一种高温纳米压痕导体样品加热装置，其特征在于，所述第一隔热保温层（4）上设有用于导体样品（2）穿设的安装过孔。

9.根据权利要求3所述的一种高温纳米压痕导体样品加热装置，其特征在于，所述第三隔热保温层（7）的纳米气凝胶毡层（703）中心设有用于铜丝穿设的通孔。

10.根据权利要求1所述的一种高温纳米压痕导体样品加热装置，其特征在于，还包括聚焦型同轴激光点红外测温度传感器（1），所述聚焦型同轴激光点红外测温度传感器（1）设置在超高频感应加热机上方，用于实时测量导体样品的温度。