[实用新型]一种高温型薄膜绝压传感器

权利要求书

1.一种高温型薄膜绝压传感器，其特征在于，包括高温线缆、压力传感头组件以及变换器；

所述压力传感头组件包括第一线缆紧固座、外壳、L型端子、密封壳体、溅射薄膜式敏感芯体、压力接口座以及堵盖；所述外壳与所述压力接口座相对设置且固定连接，在所述外壳与所述压力接口座之间的空腔内安装有所述密封壳体、所述L型端子、所述溅射薄膜式敏感芯体以及所述堵盖；所述第一线缆紧固座安装于所述外壳，用于固定连接所述高温线缆的一端；所述压力接口座设置有用于引入被测介质的引压孔；在所述引压孔的出口安装有用于缓冲压力的所述堵盖；所述溅射薄膜式敏感芯体采用耐高温材料制成，并固定连接于所述堵盖外周侧的所述压力接口座上；所述密封壳体罩设于所述压力接口座，并将所述溅射薄膜式敏感芯体密封在所述密封壳体与所述压力接口座之间，用于为所述溅射薄膜式敏感芯体提供真空环境；用于信号转接的所述L型端子固定安装于所述密封壳体，一端与所述高温线缆连接，另一端与所述溅射薄膜式敏感芯体连接；

所述变换器包括第二线缆紧固座、电路板、下盖、电连接器以及上盖；所述上盖和所述下盖相对设置且固定连接，在所述上盖和所述下盖之间形成密封空间；所述电路板固定安装于所述密封空间内，输入端连接所述高温线缆，输出端连接所述电连接器；所述第二线缆紧固座和所述电连接器相对安装于所述下盖；所述第二线缆紧固座用于固定安装所述高温线缆的另一端；所述电路板用于对输入的电压信号进行补偿、放大、A/D转换、运算处理和发送。

2.如权利要求1所述的高温型薄膜绝压传感器，其特征在于，所述密封壳体还包括设置有凹槽的密封盖；

所述密封壳体设置有与所述溅射薄膜式敏感芯体相对的阶梯孔；

所述密封盖密封安装于所述阶梯孔。

3.如权利要求2所述的高温型薄膜绝压传感器，其特征在于，所述密封壳体、所述密封盖以及所述L型端子采用4J29可伐合金制成。

4.如权利要求3所述的高温型薄膜绝压传感器，其特征在于，所述L型端子烧结于所述密封壳体，并采用高温玻璃作为烧结密封材料。

5.如权利要求4所述的高温型薄膜绝压传感器，其特征在于，所述L型端子的外侧面设置有镀金涂层；

所述L型端子与所述高温线缆之间通过导线连接；

所述导线通过螺钉和铆钉固定连接于所述L型端子的顶部，并通过螺钉与所述高温线缆连接；

所述L型端子通过金丝焊接工艺与所述溅射薄膜式敏感芯体相连接。

6.如权利要求2所述的高温型薄膜绝压传感器，其特征在于，所述外壳焊接连接于所述压力接口座；

所述压力接口座与所述堵盖之间通过激光焊接连接成整体结构；

所述密封盖通过激光焊接连接于所述密封壳体。

7.如权利要求1所述的高温型薄膜绝压传感器，其特征在于，所述高温线缆通过电缆夹和螺钉固定安装于所述第一线缆紧固座和所述第二线缆紧固座。

8.如权利要求1所述的高温型薄膜绝压传感器，其特征在于，所述溅射薄膜式敏感芯体包括纳米薄膜应变电阻、金属弹性体以及陶瓷绝缘膜；

所述陶瓷绝缘膜形成于所述金属弹性体，并且所述纳米薄膜应变电阻形成于所述陶瓷绝缘膜。

9.如权利要求8所述的高温型薄膜绝压传感器，其特征在于，所述纳米薄膜应变电阻采用离子束溅射工艺制成。

10.如权利要求1-9任一项所述的高温型薄膜绝压传感器，其特征在于，所述高温线缆包括线缆和包覆于所述线缆外的绝缘体；

所述线缆采用镍丝制成；

所述绝缘体采用高硅氧制成。