[实用新型]硅片上料机吹气装置

说明书

本实用新型属于硅片上料机技术领域，具体涉及一种硅片上料机吹气装置，包括底板和上压板，所述底板上加工有矩形槽，矩形槽端部开口设置；所述上压板上设置进气风道，上压板底部设置长条凸块，长条凸块上设有出气孔，长条凸块上设置风道高度限位块，上压板的长条凸块设置在底板的矩形槽中，长条凸块与矩形槽之间的空间形成矩形出气风道，矩形出气风道与进气风道相连通。本实用新型用以解决现有喇叭形出风风道导致风速不稳定，机台报警频发，影响硅片质量的技术问题。

技术领域

本实用新型属于硅片上料机技术领域，具体涉及一种硅片上料机吹气装置。

背景技术

硅片上料机作业前，将一个装有硅片的料夹运行至作业位置，经风刀吹气装置将硅片吹起分层后由吸爪将硅片取走，放置于输送皮带上后继续作业，此过程持续运行。如图1-3所示，现有风刀吹气机构1，包括风刀底板12和风刀顶板11,现有吹气装置为塑料材质；风刀采用两片塑料材质的型材组装完成(上下层塑料装置，通过螺丝锁合)。现有风刀吹气机构，存在以下缺陷：

第一，塑料材质易损坏，使用寿命短。

第二，风刀出气口内部粗糙，出气口设计不科学，出风口为喇叭状，CDA压缩空气经风刀后呈发散状，风压变低，硅片不能良好分层，需要调大进气CDA压力，吹气时，风速不稳定，导致机台报警频发，更深层次影响硅片质量。

第三，风刀固定支架没有可调节空间，风刀出气角度未固定于硅片，分片效果不稳定。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种硅片上料机吹气装置，用以解决现有喇叭形出风风道导致风速不稳定，机台报警频发，影响硅片质量的技术问题。

为解决上述技术问题，本实用新型采用以下技术方案，硅片上料机吹气装置，其特征是，所述吹气装置包括底板和上压板，所述底板上加工有矩形槽，矩形槽端部开口设置；

所述上压板上设置进气风道，上压板底部设置长条凸块，长条凸块上设有出气孔，长条凸块上设置风道高度限位块，上压板的长条凸块设置在底板的矩形槽中，长条凸块与矩形槽之间的空间形成矩形出气风道，矩形出气风道与进气风道相连通。

采用上述技术方案，具有以下有益效果：出气口设计由原先的圆弧发散形出气，改为直线形出气，风速稳定高效，能够保持良好的硅片分层效果。

为解决上述技术问题，本实用新型采用以下技术方案，所述底板上设置固定支架，固定支架上设置长条孔，长条孔用于固定支架与机架的固接；固定支架上两侧分别设置挡板，两个挡板之间形成机架安装空间。

采用上述技术方案，具有以下有益效果：采用铝合金固定支架，固定支架上设置长条孔,方便了风刀的上下位置调整，保证了吹气时风与硅片平面的水平度，硅片分层效果得到了充分的保证。

为解决风刀吹气装置使用寿命短的技术问题，本实用新型采用以下技术方案，所述底板、上压板、固定支架材料均为铝。

采用上述技术方案，具有以下有益效果：(1)将塑料材质更换为铝合金材质，进行表面亮银色氧化，有效的杜绝酸碱气的腐蚀。(2)延长使用寿命：塑料材质改为铝合金型材，风刀使用周期延长至3年以上。(3)采用铝合金材质，矩形出气风道内部更为平滑。

为解决进气风道与出气风道如何布置的技术问题，本实用新型采用以下技术方案，所述矩形出气风道与进气风道之间垂直设置。

为解决上压块重量重技术问题，本实用新型采用以下技术方案，所述上压板顶部为楔形结构，减轻上压块的重量。

为解决底板与上压块如何固接的技术问题，本实用新型采用以下技术方案，所述矩形槽沿底板长度方向设置；

底板的矩形槽两侧设置第一连接孔，第一连接孔用于上压板与底板的固接；