[实用新型]一种蒸发舟

说明书

本实用新型公开了一种蒸发舟，通过在舟体中设置第一遮挡板、第二遮挡板和第三遮挡板，使得熔融的蒸镀材料溅射出的大颗粒原子被第一遮挡板、第二遮挡板和第三遮挡板来回反射，经过多次反射之后，分解为小颗粒，在本质上解决蒸镀材料溅射引起的短路问题。

技术领域

本实用新型实施例涉及蒸镀技术领域，尤其涉及一种蒸发舟。

背景技术

目前，在蒸镀过程中，一般使用蒸发舟对待蒸镀基板进行蒸镀。蒸镀过程中使用的蒸发舟如附图1所示，包括舟体1，以及连接在舟体1两端的两个电极片2，图1中的蒸发舟在蒸镀过程中容易出现以下问题：(1)蒸镀过程中，银材料(蒸镀材料)容易融化聚集成团，相同速率下，单个银原子速率相对于聚集成团的银材料的速率变大，导致器件短路；(2)蒸镀过程中熔融的银会发生溅射(splash)现象，会有大颗粒银原子团蒸镀到基板，导致器件短路，像素面板造成单个或多个像素点不亮的黑点现象；(3)蒸镀纯度不够的金属 (Mg/Yb)，蒸镀过程通常会产生灰烬，灰烬受热会蒸镀至待蒸镀基板，造成短路或黑点；(4)为了降低短路概率，通常降低蒸镀速率，但会增加工艺时长。

实用新型内容

本实用新型提供一种蒸发舟，以实现在蒸镀过程中，避免溅射造成器件短路，减少灰烬引起的黑点，缩短整体的工艺时长。

为实现上述目的，本实用新型提出了一种蒸发舟，包括舟体及连接在舟体两端的两个电极片，所述舟体包括：

底板，用于承载蒸镀材料；

相对设置的第一侧面板和第二侧面板；相对设置的第三侧面板和第四侧面板；所述第一侧面板、所述第三侧面板、所述第二侧面板和所述第四侧面板依次首尾垂直相接，并与所述底板形成具有开口的容纳仓；两个所述电极片连接在所述第三侧面板及第四侧面板的顶端；

相对设置的第一遮挡板和第二遮挡板，所述第一遮挡板位于所述第三侧面板的第一预设高度处，所述第二遮挡板位于所述第四侧面板的第一预设高度处；第三遮挡板，设置在第二预设高度；所述第一预设高度高于所述第二预设高度；所述第一遮挡板、所述第二遮挡板在容纳仓开口所在面的投影遮挡部分所述容纳仓开口，所述第三遮挡板在容纳仓开口所在面的投影遮挡所述容纳仓开口剩余的部分开口。

可选地，所述第三侧面板向所述容纳仓的内部延伸并连续弯折形成第一凹槽，所述第一凹槽的侧壁形成所述第一遮挡板；所述第四侧面板向所述容纳仓的内部延伸并连续弯折形成第二凹槽，所述第二凹槽的侧壁形成所述第二遮挡板。

可选地，所述第一遮挡板和所述第二遮挡板平行于所述底板；所述第三遮挡板平行于所述底板，所述第三遮挡板与所述第一侧面板和所述第二侧面板相连接。

可选地，所述第三遮挡板与所述第一侧面板、所述第三侧面板、所述第二侧面板及所述第四侧面板分离设置。

可选地，所述第三侧面板包括与所述第一遮挡板及所述电极片连接的第三上侧面板，及与所述第一遮挡板及所述底板连接的第三下侧面板；所述第四侧面板包括与所述第二遮挡板及所述电极片连接的第四上侧面板，及与所述第二遮挡板及所述底板连接的第四下侧面板；所述第三遮挡板的一端通过第一连接柱一端连接在所述第一遮挡板与所述第三下侧面板的结合处，另一端通过第二连接柱一端连接在所述第二遮挡板与所述第四下侧面板的结合处。

可选地，沿所述底板垂直指向所述容纳仓的开口的方向，所述第一侧面板的高度和所述第二侧面板的高度相同，且小于或等于所述第一预设高度。

可选地，所述第一遮挡板、所述第一连接柱、所述第三遮挡板、所述第二连接柱和所述第二遮挡板的整体工作温度，高于所述第一侧面板、所述第二侧面板、所述第三下侧面板和所述第四下侧面板的整体工作温度；

所述第一侧面板、所述第二侧面板、所述第三下侧面板和所述第四下侧面板的整体工作温度，高于所述底板的工作温度。