[实用新型]溅射镀膜用夹治具

说明书

本实用新型提供了一种溅射镀膜用夹治具，包括底板、盖板及连接件，底板上形成有凹部，盖板上具有与凹部配合的第一通孔，待镀膜基板放置于凹部，盖板盖设于底板上使待镀膜基板的至少部分通过第一通孔外露；底板与盖板通过连接件连接。上述夹治具通过改变底板上凹部及盖板上第一通孔的尺寸，能够对不同尺寸的待镀膜基板进行镀膜，扩大了现有镀膜机的应用范围，满足了各种尺寸基板的镀膜需求。另外，在将待镀膜基板放入镀膜机或者从镀膜机取出时，可以用机械手抓取夹治具，避免手取或者用机械手直接抓取基板，保证基板表面的洁净度。

技术领域

本实用新型涉及溅射镀膜技术领域，特别涉及一种溅射镀膜用夹治具。

背景技术

溅射镀膜机在使用时往往只能对某个特定尺寸的玻璃基板进行镀膜，而无法应用于其它尺寸的基板，这就大大地限制了溅射镀膜机的使用范围，无法满足各种尺寸基板的镀膜需求。例如，EVATEC Solaris镀膜机只能用于8寸玻璃基板的镀膜，无法应用于其它尺寸基板。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种溅射镀膜用夹治具，以解决现有技术中溅射镀膜机仅能用于特定尺寸基板镀膜的技术问题。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：

本实用新型提供了一种溅射镀膜用夹治具，包括底板、盖板及连接件，所述底板上形成有凹部，所述盖板上具有与所述凹部配合的第一通孔，所述待镀膜基板放置于所述凹部，所述盖板盖设于所述底板上使所述待镀膜基板的至少部分通过所述第一通孔外露；所述底板与所述盖板通过所述连接件连接。

进一步地，所述第一通孔的孔壁周侧形成有第一台阶部以遮挡所述待镀膜基板的部分区域。

进一步地，所述凹部为贯穿所述底板的第二通孔，所述第二通孔的孔壁周侧形成有第二台阶部以承托所述待镀膜基板。

进一步地，所述凹部的数量为多个，多个所述凹部在所述底板上间隔均匀布设。

进一步地，所述盖板上形成有第三通孔，所述底板上具有与所述第三通孔配合的定位柱，所述盖板盖设于所述底板上使所述定位柱穿过所述第三通孔。

进一步地，所述定位柱的数量为多个，多个所述定位柱在所述底板上均匀间隔布设。

进一步地，所述盖板上形成有第四通孔，所述底板上具有与所述第四通孔配合的螺纹孔，所述连接件为螺钉，所述螺钉穿过所述第四通孔并螺接于所述螺纹孔内使所述底板与所述盖板连接。

进一步地，所述第四通孔及所述螺纹孔的数量均为多个，多个所述第四通孔均匀间隔布设在所述第一通孔的周侧，多个所述螺纹孔均匀间隔布设在所述凹部的周侧。

进一步地，所述底板的横截面呈圆形，所述盖板的横截面具有相对设置的两直边及相对设置的两弧形边，且所述直边与所述弧形边间隔布设，以使所述盖板与镀膜机的卡塞配合。

进一步地，所述第一通孔在所述盖板所在平面上的投影的角部向外凸出呈弧状；和/或所述凹部在所述底板所在平面上的投影的角部向外凸出呈弧状。

本实用新型提供的溅射镀膜用夹治具，将待镀膜基板放置于底板的凹部，将盖板盖设于底板上且使待镀膜基板通过盖板上的第一通孔实现至少部分外露，并将底板与盖板连接且固定于镀膜机内，以对待镀膜基板进行溅射镀膜。上述夹治具通过改变底板上凹部及盖板上第一通孔的尺寸，能够对不同尺寸的待镀膜基板进行镀膜，扩大了现有镀膜机的应用范围，满足了各种尺寸基板的镀膜需求。另外，在将待镀膜基板放入镀膜机或者从镀膜机取出时，可以用机械手抓取夹治具，避免手取或者用机械手直接抓取基板，保证基板表面的洁净度。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的底板的结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的盖板的结构示意图；