[实用新型]一种紫外光、可见光、红外光三波段小视场聚焦物镜

说明书

本实用新型公开了一种紫外光、可见光、红外光三波段小视场聚焦物镜，包括本体，所述本体内设置有一个聚焦物镜镜片，所述聚焦物镜镜片是由三片球面透镜镜片按顺序进行叠合在一体构成的，其中第一个球面透镜镜片为第一正光焦度透镜，其焦距值f的范围是35≤f≤75mm，第二个球面透镜镜片为负光焦度透镜，其焦距值f的范围是‑40≤f≤‑80mm，第三个球面透镜镜片为第二正光焦度透镜，其焦距值f的范围是40≤f≤60mm，且叠合后的聚焦物镜镜片的焦距值为40mm。本结构成本低、像质好。

技术领域

本实用新型涉及一种聚焦镜的技术领域，特别涉及一种紫外光、可见光、红外光三波段小视场聚焦物镜。

背景技术

随着激光加工技术的广泛应用，对聚焦镜的性能要求趋于多样性。聚焦镜是激光加工应用中必不可少的光学组件，其作用是将激光光束聚焦到微米尺寸，用于光与物质的相互作用，比如熔覆、去除、改性等。根据扫描范围的不同，可以分为场镜和小视场聚焦镜。

针对于小视场聚焦镜的技术标准，目前主要分为，长焦距的复合透镜和短焦距的单片式非球面透镜。在焦距30-40mm范围内，主要是单片式的非球面透镜，在这个焦距范围内，还可以使用低倍的显微物镜。无论是单片式的非球面，还是低倍的显微物镜都存在一定的问题，单片式的非球面其轴向视场的成像质量可以比较高，但在其轴外视场的像质却下降明显。低倍的显微物镜在轴上视场和轴外视场，均有良好的成像质量，不过其高昂的价格，限制了其应用范围，故此需要改进。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种紫外光、可见光、红外光三波段小视场聚焦物镜，以解决上述背景技术中提出的价格成本高或像质差的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种紫外光、可见光、红外光三波段小视场聚焦物镜，包括本体，所述本体内设置有一个聚焦物镜镜片，所述聚焦物镜镜片是由三片球面透镜镜片按顺序进行叠合在一体构成的，其中第一个球面透镜镜片为第一正光焦度透镜，其焦距值f的范围是 35≤f≤75mm，第二个球面透镜镜片为负光焦度透镜，其焦距值f的范围是 -40≤f≤-80mm，第三个球面透镜镜片为第二正光焦度透镜，其焦距值f的范围是40≤f≤60mm，且叠合后的聚焦物镜镜片的焦距值为40mm。

作为优选，所述聚焦物镜镜片包含三种光，分别是波长为355nm的紫外光波，波长为532nm的绿光可见光，波长为1064nm的红外光。

作为优选，所述正光焦度透镜的表面通过蒸镀的镀膜工艺镀有一层以上的介质膜，以减少其透镜表面的反射率，将表面的反射率小到0.25％，提高了透镜本身的激光损伤阈值。

作为优选，所述的第一正光焦度透镜包括第一球面和第二球面，所述负光焦度透镜包括第三球面和第四球面，所述第二正光焦度透镜包括第五球面和第六球面，且所述的第一球面、第三球面和第五球面采用熔融石英材料制成的。

本实用新型得到的一种紫外光、可见光、红外光三波段小视场聚焦物镜的具有以下技术效果：由于每个透镜均采用普通球面，并在轴向视场和轴外视场均有良好的成像质量，而且其加工、制造难度和费用均低于单片式非球面透镜和显微物镜，以实现像质好，成本低。

附图说明

图1是本实施例1中一种紫外光、可见光、红外光三波段小视场聚焦物镜的结构示意图；

图2是本实施例1中聚焦物镜镜片的分解示意图；

图3是本实施例2中一种紫外光、可见光、红外光三波段小视场聚焦物镜的结构示意图；

图4图5是在入射光波段为0.355μm，入射光斑的光束直径为8mm，物镜后截距为27.147mm时，三波段小视场聚焦物镜的RMS点列图；

图6图7是在入射光波段为0.532μm，入射光斑的光束直径为8mm，物镜后截距为28.249mm时，三波段小视场聚焦物镜的RMS点列图。