[实用新型]一种高精度光控使用的比较片换位装置

说明书

本实用新型公开了一种高精度光控使用的比较片换位装置，包括换位装置固定座本体，所述换位装置固定座本体一侧设有光纤固定腔，所述光纤固定腔内底端设有光纤头卡座，所述光纤固定腔内卡装有光纤，所述光纤的端部卡装于光纤头卡座内，所述换位装置固定座本体中部纵向开设有转筒安置腔，所述转筒安置腔内套装有转筒，所述转筒顶端的外壁上设有从动齿轮，所述转筒顶端设有定位传感器，所述换位装置固定座本体顶端的一侧靠近转筒处设有电机。本实用新型结构简单，操作方便，很好的与工件盘的转动部件完整的结合在一起，工作时互不影响，有效的提高了比较片的稳定性和精度。

技术领域

本实用新型属于光学设备技术领域，具体涉及一种高精度光控使用的比较片换位装置。

背景技术

在公知的技术中，针对非规整膜系的需要，镀膜膜厚监控系统一般是通过一个或几个比较片的切换，分别用不同的监控波长信号对膜系各层的光学厚度进行监控。随着膜系的复杂化设计，要在一个或几个比较片上完成整个膜系的控制，是无法实现的，必须在十几个或几十个比较片上进行切换才能完成，因此要求监控系统的比较片上能够容纳和切换更多的监控点。现代的镀膜机上都装备了比较片切换装置，当进行切换时，须从下方取出、放入比较片或比较片托盘。这种切换装置不仅操作麻烦，工作人员容易被烫伤，而且造成蒸镀效率低，质量得不到保证。还有一种镀膜比较片装置为拨盘式单片切换结构，它是将镀膜比较片叠摞置放在一个上筒体内，切换时比较片通 过拨盘拨动一个工位，上筒体内落下一个比较片，同时被切换的比较片随工位转动落到一个下筒体内，每切换一片，拨动一个工位。由于拨盘转动完全 是靠机械转动，其定位精度低，转动位置不易到位，比较片也容易摩擦损坏， 而且操作环节多、工作效率低，动作可靠性差。另外，在比较片的定位控制 方面，一般是利用接近开关、霍尔开关或光耦等控制元件进行手动控制，由于手动控制定位精度低，造成每切换一个比较片，监控投射光斑与比较片都会产生偏离，并在完成整个膜系蒸镀过程中不断形成积累误差，使比较片托盘转动一周，投射光斑有时会偏离半个比较片，光斑的重复性差，加之定位元器件体积的限制，比较片的片位不能太多，而且安装起来又比较麻烦，需 要反复调整定位元件，因此切换时定位的准确与否取决于操作员的熟练程度， 导致镀膜监控的精度低，可靠性差。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供了一种能够较好的解决传统的比较片换位后，反射光偏移、导致镀膜厚度测量不准的结构性缺陷的高精度光控使用的比较片换位装置。

为了达到上述设计目的，本实用新型所采用的技术方案是：一种高精度光控使用的比较片换位装置，包括换位装置固定座本体，所述换位装置固定座本体一侧设有光纤固定腔，所述光纤固定腔内底端设有光纤头卡座，所述光纤固定腔内卡装有光纤，所述光纤的端部卡装于光纤头卡座内，所述换位装置固定座本体中部纵向开设有转筒安置腔，所述转筒安置腔内套装有转筒，所述转筒顶端的外壁上设有从动齿轮，所述转筒顶端设有定位传感器，所述换位装置固定座本体顶端的一侧靠近转筒处设有电机，所述电机的输出转轴上设有与所述转筒顶端外壁上的从动齿轮相配合的主驱动齿轮，所述转筒底部设有比较片卡座，所述比较片卡座上卡装有比较片。

所述换位装置固定座本体一侧的光纤固定腔底端开设有透光孔。

所述光纤头卡座可根据实际生产需求来调节上下高度。

本实用新型有益效果：本新型采用先进的光纤导入技术直接将光线入射到比较片上，由于此种入射光斑比较小，能量损耗少；因此能够实现比较片的多位转换；另外此种结构比较片的定位精度不受传动机构的影响，因此能够较好的解决传统的比较片换位后，反射光偏移、导致镀膜厚度测量不准的结构性缺陷。本实用新型结构简单，操作方便，很好的与工件盘的转动部件完整的结合在一起，工作时互不影响，有效的提高了比较片的稳定性和精度。

附图说明

图 1 为本实用新型一种高精度光控使用的比较片换位装置结构示意图。

具体实施方式