[实用新型]一种激光精密开槽的光学系统

权利要求书

1.一种激光精密开槽的光学系统，其特征在于：其包括紫外纳秒激光器、对所述紫外纳秒激光器发射出的光束进行全反射的第一反射镜组、将所述第一反射镜组反射的光束处理成线偏振光的第一半波片、降低线偏振光的干涉与散斑现象的楔形镜、将所述楔形镜处理后的光束均匀分为两束能量相等的第一光束与第二光束的第二分光棱镜、将所述第一光束反射至一第一合束棱镜中的第二反射镜组、将所述第二光束进行偏振后入射到所述第一合束棱镜中的第一振镜单元、调制经过所述第一合束棱镜合束后的所述第一光束与所述第二光束的偏振形态的第二半波片、将经过所述第二半波片调制好后的光束均匀分成能量相等的四束激光的第三分光棱镜、将其中两束激光反射至一第二合束棱镜中的第三反射镜组、将另外两束激光进行偏振处理后入射到所述第二合束棱镜中第二振镜单元、以及将合束后的四束激光打在工件加工表面上的激光聚焦单元。

2.如权利要求1所述的激光精密开槽的光学系统，其特征在于：还包括第一分光棱镜和一功率监测单元。

3.如权利要求2所述的激光精密开槽的光学系统，其特征在于：所述第一分光棱镜设置在所述紫外纳秒激光器与所述第一反射镜组之间，将所述紫外纳秒激光器发射出来的激光分成两部分，一部分进入所述第一反射镜组中，另一部分进入所述功率监测单元中。