[实用新型]常压式化学气相沉积机履带速度监测报警装置

说明书

本实用新型涉及一种常压式化学气相沉积机履带速度监测报警装置。它包括带辊和控制器。所述带辊上套有履带。邻近带辊的履带下方有底座。其特点是：底座上有轮座，轮座上有从动轮，从动轮的轮面与途径带辊处的履带表面间呈滚动状相配合。所述轮座上有测速传感器，测速传感器通过导线与控制器相连，控制器上连有蜂鸣器。采用这种监测报警装置，可避免因履带停止运行而导致的晶圆报废情况发生。适用于常压式化学气相沉积机履带速度的监测。

技术领域

本实用新型涉及一种报警装置。具体说，是用来检测常压式化学气相沉积机履带速度的检测报警装置。

背景技术

常压式化学气相沉积机半导体晶圆生产线中的主流设备。它是在接近一个标准大气压的压力环境下，载着晶圆的履带沿着加热底板依次从几个喷嘴下方通过。在通过的过程中，由喷嘴喷出硅烷和氧气，使气体在被加热的晶圆表面其化学反应并生成一层二氧化硅薄膜。其中，履带的驱动马达上带有编码器，当出现马达速度异常情况时，编码器会将马达的速度异常信号反馈给控制器，再由控制器给蜂鸣器发出报警指令。但当出现减速箱、平键、链条、齿轮打滑、辊轴打滑等故障而导致履带的速度异常情况时，就无法发出报警信号。尤其当履带的速度降低至停止运行时，其上的晶圆会被堵在腔体内，从而导致这些晶圆的报废。

实用新型内容

本实用新型要解决的问题是克服上述不足、提供一种常压式化学气相沉积机履带速度监测报警装置。采用这种监测报警装置，可避免因履带停止运行而导致的晶圆报废情况发生。

本实用新型要解决的上述问题由以下技术方案实现：

本实用新型的常压式化学气相沉积机履带速度监测报警装置包括带辊和控制器.所述带辊上套有履带。邻近带辊的履带下方有底座。其特点是：底座上有轮座，轮座上有从动轮，从动轮的轮面与途径带辊处的履带表面间呈滚动状相配合。所述轮座上有测速传感器，测速传感器通过导线与控制器相连，控制器上连有蜂鸣器。

本实用新型的进一步改进方案是，还设置有报警灯，该报警灯通过导线与控制器相连。

由以上方案可以看出，由于在底座上设置有轮座，轮座上有从动轮，从动轮的轮面与途径带辊处的履带表面间呈滚动状相配合。所述轮座上有测速传感器，测速传感器通过导线与控制器相连，控制器上连有蜂鸣器。常压式化学气相沉积运行过程中，当出现履带速度降为0、停止运行时，由于从动轮的轮面与途径带辊处的履带表面间呈滚动状相配合，从动轮也同时停止旋转。此时，测速传感器会将从动轮的这一信息送给控制器。控制器接收到这一信息后进行运算，并给供气装置发出指令，停止供气，从而避免了因履带停止运行而导致的晶圆报废情况发生。

附图说明

图1是本实用新型的常压式化学气相沉积机履带速度监测报警装置示意图。

具体实施方式

如图1所示，本实用新型的常压式化学气相沉积机履带速度监测报警装置含有带辊9、控制器1、蜂鸣器3和报警灯2。所述带辊9上套有履带8。邻近带辊9的履带8下方设置有底座6，底座6上固定有轮座5，轮座5上安装有从动轮7，从动轮7的轮面与途径带辊9处的履带8表面间呈滚动状相配合。所述轮座5上安装有测速传感器4，该测速传感器通过导线与控制器1相连。所述蜂鸣器3和报警灯2均通过导线与控制器1相连。