[实用新型]一种光刻板清洗机用除胶滤网有效

专利信息
申请号: 202022928280.6 申请日: 2020-12-09
公开(公告)号: CN213856015U 公开(公告)日: 2021-08-03
发明(设计)人: 赵峰 申请(专利权)人: 恩士力半导体无锡有限公司
主分类号: B08B3/06 分类号: B08B3/06;B08B1/04;B01D29/35;B01D29/64
代理公司: 无锡知更鸟知识产权代理事务所(普通合伙) 32468 代理人: 张涛
地址: 214000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 刻板 清洗 滤网
【说明书】:

实用新型公开了一种光刻板清洗机用除胶滤网,包括:支撑座,所述支撑座为圆形设置;滤网主体,所述滤网主体位于支撑座的上方,所述滤网主体的底部与支撑座的上方进行固定连接;顶板,所述顶板位于滤网主体的顶部,所述顶板内开设有进料口;刮料结构,所述刮料结构位于滤网主体的内部,所述刮料结构包括转动电机、转轴、支撑杆和刮板。本实用新型在清洗完成后,通过转动电机能够带动转轴转动,从而带动两个刮板转动,可以将滤网主体内壁上粘着的凝胶刮掉,便于对滤网主体内壁上的凝胶进行清理,可以维持滤网主体的洁净,结构简单且便于使用。

技术领域

本实用新型涉及光刻板清洗设备技术领域,具体为一种光刻板清洗机用除胶滤网。

背景技术

掩膜:全称单片机掩膜,是指程序数据已经做成光刻版,在单片机生产的过程中把程序做进去。光刻板是许多电器中必不可少的结构,是可以容纳程序数据的载体。不过,由于光刻板的批量要求大,所以多采用流水线生产,造成生产的过程中容易沾染很多灰尘或其他杂质,在安装之前需要将光刻板投入清洗机中进行清洗除尘。

由于在生产的过程中,光刻板的表面会黏上很多的凝胶,在清洗时会将这些凝胶冲洗掉,而清洗掉的凝胶会直接黏在滤网的内壁,不方便进行处理,就会影响到后面的清洗。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种光刻板清洗机用除胶滤网,以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种光刻板清洗机用除胶滤网,包括:支撑座,所述支撑座为圆形设置;滤网主体,所述滤网主体位于支撑座的上方,所述滤网主体的底部与支撑座的上方进行固定连接;顶板,所述顶板位于滤网主体的顶部,所述顶板内开设有进料口;刮料结构,所述刮料结构位于滤网主体的内部,所述刮料结构包括转动电机、转轴、支撑杆和刮板。

优选的,所述滤网主体为圆柱形设置。

优选的,所述顶板与支撑座之间为平行设置。

优选的,所述支撑座的上方固定设置有电机盒,所述电机盒内固定设置有转动电机,所述转动电机的输出端固定设置有转轴,所述转轴的顶部贯穿电机盒延伸至电机盒的上方,所述电机盒的上方位于转轴的外周还固定套接有密封圈。

优选的,所述转轴贯穿端的两侧分别固定设置有支撑杆,所述支撑杆的另一端固定设置有刮板,且所述刮板与滤网主体的内壁进行滑动连接。

优选的,所述支撑座的上方和顶板的底部分别开设有环形滑槽,所述刮板的顶部和底部分别与环形滑槽进行滑动连接。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:

1、本实用新型通过将滤网主体固定安装在支撑座的上方,可以将支撑座直接安装在清洗机内,便于对滤网进行安装,然后在滤网主体的顶部固定设置有顶板,顶板内开设有进料口,能够将光刻板通过进料口投入滤网主体内,在清洗完成后,能够使清洗液通过滤网主体渗出进行排放,再直接将光刻板取出即可,类似于洗衣机的原理;

2、本实用新型同时还在支撑座的上方固定设置有电机盒,电机盒内固定设置有转动电机,转动电机的输出端固定设置有转轴,转轴的两侧分别固定设置有支撑杆,支撑杆的另一端固定设置有刮板,刮板通过顶部与底部的环形滑槽与滤网主体的内壁进行滑动连接,所以在清洗完成后,通过转动电机能够带动转轴转动,从而带动两个刮板转动,可以将滤网主体内壁上粘着的凝胶刮掉,便于对滤网主体内壁上的凝胶进行清理,可以维持滤网主体的洁净。

附图说明

图1为本实用新型整体结构示意图;

图2为本实用新型局部结构剖视图;

图3为本实用新型图2中A结构图。

图中:1-支撑座;2-滤网主体;3-顶板;301-进料口;4-转动电机;401-电机盒;402-转轴;5-支撑杆;6-刮板;7-环形滑槽。

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