[实用新型]一种热处理设备的热偶安装固定装置

说明书

本实用新型公开了一种热处理设备的热偶安装固定装置，包括固定板一和固定板二，固定板一位于固定板二的下端，固定板一与固定板二之间通过铰链活动连接，热偶套管连接孔与热偶套管连接，热偶连接孔与热偶连接，热偶穿插于热偶套管的中部，固定板一和固定板二的两端均设置有螺纹孔一，固定板一和固定板二的两端相穿插有固定螺栓，固定板一的上端两侧设置有与固定螺栓相配合的螺帽，固定板一的上端中部两侧均设置有安装板一，固定板二的下端两侧均设置有安装板二，安装板一和安装板二的中部均设置有腰形孔，固定板一和固定板二均远离铰链的一端均设置有卡块，卡块上套设有相配合的固定件。有益效果：达到对热偶的安装固定，结构简单，操作方便。

技术领域

本实用新型涉及热偶固定装置技术领域，具体来说，涉及一种热处理设备的热偶安装固定装置。

背景技术

半导体热处理设备是集成电路制造的重要工艺设备，适用于集成电路制造过程中各种氧化、退火和薄膜生长等工艺。在热处理工艺过程中，需要将热偶插入至炉丝之间，对炉丝进行测温，以保证工艺温度。由于热偶是一种脆性材料，这就给热偶的安装固定带来很大困难。如果无法有效地固定热偶，致使热偶在安装和后续的工作过程中发生松动、摇摆的现象，就容易导致热偶损坏，并给温度的测量带来不利的影响，最后影响到整个热处理工艺的结果。

针对相关技术中的问题，目前尚未提出有效的解决方案。

实用新型内容

针对相关技术中的问题，本实用新型提出一种热处理设备的热偶安装固定装置，以克服现有相关技术所存在的上述技术问题。

为此，本实用新型采用的具体技术方案如下：

一种热处理设备的热偶安装固定装置，包括固定板一和固定板二，所述固定板一位于所述固定板二的上端，所述固定板一与所述固定板二之间通过铰链活动连接，所述固定板一和所述固定板二的中部相对应之间两端分别设置有热偶套管连接孔和热偶连接孔，所述热偶套管连接孔与热偶套管连接，所述热偶连接孔与热偶连接，所述热偶穿插于所述热偶套管的中部，所述固定板一和所述固定板二的两端均设置有螺纹孔一，所述固定板一和所述固定板二的两端相穿插有并与所述螺纹孔一相配合的固定螺栓，所述固定板一的上端两侧设置有与所述固定螺栓相配合的螺帽，所述固定板一的上端中部两侧均设置有安装板一，所述固定板二的下端两侧均设置有安装板二，所述安装板一和所述安装板二的中部均设置有腰形孔，所述固定板一和所述固定板二均远离所述铰链的一端均设置有卡块，所述卡块上套设有相配合的固定件。

进一步的，所述安装板一和所述安装板二均通过定位螺栓与热处理设备安装固定连接，并且，所述定位螺栓均通过穿插所述腰形孔的中部。

进一步的，所述固定板一的所述固定板二的前端相对应一侧且靠近所述热偶套管连接孔的一端均设置有热偶固定支架，所述热偶固定支架均通过连接螺栓固定连接。

进一步的，所述卡块均为L形的折弯结构。

进一步的，所述固定件的中部为内T形状凹槽状。

进一步的，所述固定板一的中部设置有与所述热偶连接孔连接的螺纹孔二，所述固定板一的中部设置有与所述螺纹孔二相配合的紧固螺栓。

本实用新型提供了一种热处理设备的热偶安装固定装置，有益效果如下：本实用新型通过固定板一、固定板二、固定件和热偶固定支架对热偶的固定连接，有效使得热偶的更换更加方便，同时，采用紧固螺栓进行固定热偶，可防止热偶转动或移动，保证了工艺温度的稳定，并通过安装板一和安装板二与热处理设备固定，使得安装更为牢固，进而达到对热偶的安装固定，结构简单，操作方便。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。