[实用新型]一种高速高精度修正装置

权利要求书

1.一种高速高精度修正装置,其特征在于：包括固定板(1)和真空吸盘(2)，所述固定板(1)上分别固定设置有用于对真空吸盘进行X轴轴向位置修正的X轴修正机构(3)和Y轴轴向位置修正的Y轴修正机构(4)；

X轴修正机构(3)设置有分布于真空吸盘(2)两端的两个。

2.根据权利要求1所述一种高速高精度修正装置，其特征在于：所述X轴修正机构(3)包括X轴线模组(3a)以及X轴线模组(3a)上滑动设置有的第一转接板(3b)，X轴线模组(3a)的一端设置有用于驱动第一转接板(3b)滑动移动的X轴电机(3d)。

3.根据权利要求2所述一种高速高精度修正装置，其特征在于：所述第一转接板(3b)的上侧转动连接有第一滑块，所述真空吸盘(2)的下侧固定设置有沿Y轴方向延伸的第一导向滑轨(3c)，第一滑块和第一导向滑轨(3c)彼此滑动连接。

4.根据权利要求1所述一种高速高精度修正装置，其特征在于：所述Y轴修正机构(4)包括Y轴线模组(4b)以及Y轴线模组(4b)上滑动设置有的第二导向滑轨(4d)，Y轴线模组(4b)的一端设置有用于驱动第二导向滑轨(4d)滑动移动的Y轴电机(4a)，第二导向滑轨(4d)上沿X轴轴向滑动设置有第二转接板(4c)，第二转接板(4c)的上侧与真空吸盘(2)的下侧彼此转动连接。

5.根据权利要求2所述一种高速高精度修正装置，其特征在于：所述X轴电机(3d)通过第一安装支架(6)固定安装在固定板(1)上。

6.根据权利要求4所述一种高速高精度修正装置，其特征在于：所述Y轴电机(4a)通过第二安装支架(7)固定安装在固定板(1)上。

7.根据权利要求1所述一种高速高精度修正装置，其特征在于：所述真空吸盘(2)的上设置有两个以上气阀(5)。