[实用新型]一种调整水平相对位置的定位装置和定位机构

说明书

本申请公开了一种调整水平相对位置的定位装置，其包括调水平组件、光源组件和支撑件，所述调水平组件和所述光源组件分别与所述支撑件连接；所述调水平组件调整所述支撑件水平安装在定位壳体的开口上方，所述光源组件中的光源形成的光束自所述开口进入所述定位壳体内并在目标位置形成光圈，以定位待定位件的位置。还公开了一种调整空间相对位置定位机构，包括定位装置，还包括在所述支撑件上并与所述光源组件同侧的测距部件，所述测距部件检测所述定位壳体内的所述待定位件的深度距离，以将所述待定位件定位在所述的定位壳体内的目标深度位置。本申请的定位装置和定位机构操作简便，提高了工作效率，工作精度高，进而提升了制备的晶体质量。

技术领域

本申请涉及一种调整水平相对位置的定位装置和定位机构，属于定位装置领域。

背景技术

目前在半导体长晶过程中，需要按照工艺要求将原料组件放置在长晶炉内的规定位置。现有技术中采用的方式为人工凭经验目测调整原料组件，将原料组件放置在大致要求位置，再通过手持测距尺调整原料组件的水平相对位置完成操作。

现有技术需要反复多次调整、测量，操作繁琐，工作效率低，人工成本大；同时工作精度低，测量误差大，无法满足严格的工艺要求，从而影响所制备的晶体的质量。

实用新型内容

为了解决上述问题，本申请提出了一种调整水平相对位置的定位装置和定位机构，通过设置调水平组件提供了水平基准，以使定位装置水平放置在定位壳体开口上方；通过设置支撑件连接调水平组件和光源组件以使光源形成的光束基于同一水平面，准确地在目标位置形成光圈；通过光源组件形成的光圈定位待定位件的位置，以使待定位件准确放置在目标位置；使用该定位装置一次操作即可将待定位件准确放置在目标位置，操作简便，极大地提高了工作效率，降低了人工成本，并且工作精度高，测量误差小，能够满足严格的工艺要求，进而提升了所制备的晶体质量。

根据本申请的一个方面，提供了一种调整水平相对位置的定位装置，该定位装置其包括调水平组件、光源组件和支撑件，所述调水平组件和所述光源组件分别与所述支撑件连接；所述调水平组件调整所述支撑件水平安装在定位壳体的开口上方，所述光源组件中的光源形成的光束自所述开口进入所述定位壳体内并在目标位置形成光圈，以定位待定位件的位置。

可选地，所述支撑件为平面板状结构，所述支撑件搭接在所述定位壳体的开口上方，所述光源组件连接在所述支撑件的底面，所述调水平组件连接在所述支撑件的顶面。所述支撑件设置为平面板状结构，便于与定位壳体搭接，并且便于握持使用；所述调水平组件连接在所述支撑件的顶面便于观察调整支撑件以使其水平搭接在所述定位壳体的开口上方。

可选地，所述光源组件形成的光圈与所述待定位件壳体的形状匹配。

可选地，所述光圈与所述待定位件壳体的尺寸一致。所述光圈与所述待定位件壳体的形状匹配，尺寸一致以便于将待定位件准确放置在目标位置。

可选地，还包括设置在所述支撑件的标尺，以调节所述光源组件相对于所述定位壳体的水平方向的相对位置。所述标尺的设置以使所述光源组件可根据不同的工艺要求调整水平方向的相对位置。

可选地，所述光源组件包括带有灯座的筒体和透镜，所述灯座连接在筒体底部内侧，所述筒体的底部连接在所述支撑件的底面，所述透镜设置在所述筒体的顶部。

可选地，所述光源组件包括至少两个可更换的透镜，所述光源组件包括的透镜的形状不同以与不同形状的待定位件匹配。所述透镜可根据待定位件的形状更换，以满足不同的工艺需求。

可选地，所述光源组件还包括调焦件，所述调焦件连接所述灯座，通过调焦件调节光源组件的焦距来改变光圈的尺寸，以使得所述光圈与所述待定位件壳体的尺寸一致。