[实用新型]一种基于半导体制冷片的干燥坩埚装置

权利要求书

1.一种基于半导体制冷片的干燥坩埚装置，其特征在于：包括容器（1），所述容器（1）内腔安装有坩埚（2），所述坩埚（2）下方安装有盘体（4），所述容器（1）内腔底部安装有第一风扇（5），所述第一风扇（5）外侧安装有筛网（6），所述筛网（6）与盘体（4）之间设有空腔，且所述空腔中填充有干燥剂（7），所述容器（1）内壁对称安装有半导体制冷片（8），所述半导体制冷片（8）表面安装有第二风扇（9），所述容器（1）顶端可拆卸连接有盖板（12）。

2.根据权利要求1所述的一种基于半导体制冷片的干燥坩埚装置，其特征在于：所述坩埚（2）底部固定连接有支架（3）。

3.根据权利要求1所述的一种基于半导体制冷片的干燥坩埚装置，其特征在于：所述盘体（4）表面开设有通孔（401），所述通孔（401）设有多个，且多个所述通孔（401）呈环形阵列式分布。

4.根据权利要求1所述的一种基于半导体制冷片的干燥坩埚装置，其特征在于：所述容器（1）外壁对称安装有散热器（10），所述散热器（10）表面安装有第三风扇（11）。

5.根据权利要求1所述的一种基于半导体制冷片的干燥坩埚装置，其特征在于：所述第二风扇（9）的出风端与坩埚（2）相对应。

6.根据权利要求1所述的一种基于半导体制冷片的干燥坩埚装置，其特征在于：所述盖板（12）上表面安装有把手（13）。