[实用新型]一种特种气体用隔膜阀芯组件

说明书

本实用新型公开了一种特种气体用隔膜阀芯组件，包括启闭件、安装在启闭件上的阀杆和套设在阀杆上的弹簧部件，以及连接在所述弹簧部件和所述启闭件之间的隔膜片，所述隔膜片的截面大于所述启闭件的底部截面，所述弹簧部件挤压隔膜片，所述启闭件控制气体流通通道打开或者关闭。本实用新型设计合理，通过隔膜片密封隔离，避免气体传输介质腐蚀阀芯组件，也避免阀芯组件污染气体传输介质，不仅提高了隔膜阀芯组件的使用寿命，而且提高了传输介质的纯度。

技术领域

本实用新型属于阀门技术领域，尤其是涉及一种特种气体用隔膜阀芯组件。

背景技术

特种气体是指为满足特定用途的气体，包括单一气体或混合气体，单一气体有259种，其中电子气体115种，有机气体63种，无机气体35种，卤碳素气体29种，同位素气体17种。特种气体被誉为电子工业的“血液”和“粮食”，其纯度、洁净度及稳定性直接影响电子元件的质量。在特种气体输送系统中用于控制开关传输介质的隔膜阀芯组件是关键部件，隔膜阀芯组件的性能、质量好坏(密封性、洁净性、流通性)直接影响到特种气体的纯度、洁净度以及传输的稳定性。对于很多化学性复杂的有毒害及腐蚀性的特种气体传输介质，隔膜阀芯组件的可靠性会关系到系统应用的安全性。目前，特种气体用隔膜阀芯组件密封性能不好，洁净度不高，使用寿命较低，不能满足高纯及超高纯特种气体的传输控制需要和高精密电子元件制造的使用要求。

因此，现如今缺少一种特种气体用隔膜阀芯组件，设计合理，通过隔膜片密封隔离，一方面避免气体传输介质腐蚀阀芯组件，另一方面避免阀芯组件污染气体传输介质，不仅提高了隔膜阀芯组件的使用寿命，而且提高了传输介质的纯度。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于针对上述现有技术中的不足，提供一种特种气体用隔膜阀芯组件，其计合理，通过隔膜片密封隔离，一方面避免气体传输介质腐蚀阀芯组件，另一方面避免阀芯组件污染气体传输介质，不仅提高了隔膜阀芯组件的使用寿命，而且提高了传输介质的纯度。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种特种气体用隔膜阀芯组件，其特征在于：包括启闭件、安装在启闭件上的阀杆和套设在阀杆上的弹簧部件，以及连接在所述弹簧部件和所述启闭件之间的隔膜片，所述隔膜片的截面大于所述启闭件的底部截面，所述弹簧部件挤压隔膜片，所述启闭件控制气体流通通道打开或者关闭。

上述的一种特种气体用隔膜阀芯组件，其特征在于：所述启闭件包括镶块和与镶块连接的外环，所述外环包括与镶块螺纹连接的连接部和与连接部垂直布设的竖杆部，所述竖杆部伸入阀杆内；

所述隔膜片包括套设在竖杆部上的镍基膜片和钴基膜片，所述钴基膜片的数量为3个，所述镍基膜片和钴基膜片相贴合，所述镍基膜片和钴基膜片的下侧壁均呈劣弧形，所述镍基膜片和钴基膜片的边缘伸出连接部的外侧面，所述钴基膜片的外边缘低于钴基膜片的内边缘，所述镍基膜片的外边缘低于镍基膜片的内边缘。

上述的一种特种气体用隔膜阀芯组件，其特征在于：所述弹簧部件包括套设在阀杆上的弹簧、套设在阀杆下端且与弹簧的一端连接的压紧环和套设在阀杆上端且与弹簧的另一端连接的上限位件；

所述上限位件包括套设在阀杆外的垫块和轴用挡圈，所述垫块和弹簧的另一端连接，所述轴用挡圈和垫块相贴合。

上述的一种特种气体用隔膜阀芯组件，其特征在于：所述压紧环包括依次连接且一体成型的第一圆环部、第二圆环部和第三圆环部，所述第一圆环部的外径、第二圆环部的外径、第三圆环部的外径逐渐减少，所述第三圆环部的内径包括第一内径段和第二内径段，所述第一圆环部的内径、第二圆环部的内径和第一内径段的内径相同，所述第二内径段的内径小于第二圆环部的内径，所述第一圆环部外侧面和第二圆环部外侧面的连接处形成第一台阶面，所述第二圆环部外侧面和第三圆环部外侧面的连接处形成第二台阶面，所述第一内径段的内侧面和第二内径段的内侧面的连接处形成内台阶面。