[实用新型]一种便于切割的固晶板有效
申请号: | 202022886111.0 | 申请日: | 2020-12-03 |
公开(公告)号: | CN213278036U | 公开(公告)日: | 2021-05-25 |
发明(设计)人: | 刘昊睿;刘东顺;谭晓华 | 申请(专利权)人: | 天津德高化成光电科技有限责任公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;B28D5/00 |
代理公司: | 天津市新天方专利代理有限责任公司 12104 | 代理人: | 王伟 |
地址: | 300450 天津市滨海新区经济技术*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 便于 切割 固晶板 | ||
1.一种便于切割的固晶板,其特征在于,包括:
矩形的基板(1);
晶片固定区(2),晶片固定区(2)位于基板(1)中部,晶片固定区(2)内设有多个晶片固定板(21),晶片固定板(21)在晶片固定区(2)内呈矩阵式排列;
晶片定位区(3),晶片定位区(3)位于矩形的基板(1)的边缘,晶片定位区(3)包括四个子晶片定位区,四个子晶片定位区分别对应基板(1)的四条边,四个子晶片定位区内均设有多层用于定位晶片固定板(21)的晶片定位板(31)。
2.根据权利要求1所述的便于切割的固晶板,其特征在于,晶片固定板(21)为矩形金属板。
3.根据权利要求1或2所述的便于切割的固晶板,其特征在于,每个子晶片定位区内的晶片定位板(31)的数量为两排,同一排晶片定位板(31)的形状相同,不同排晶片定位板(31)的形状不同。
4.根据权利要求3所述的便于切割的固晶板,其特征在于,两排晶片定位板(31)分别为矩形和圆形,圆形的晶片定位板(31)位于矩形的晶片定位板(31)内侧。
5.根据权利要求4所述的便于切割的固晶板,其特征在于,矩形的晶片定位板(31)的与其所在排相垂直的中线位于相邻两行或两列晶片固定板(21)之间。
6.根据权利要求4所述的便于切割的固晶板,其特征在于,圆形的晶片定位板(31)的与其所在排相垂直的中线与一行或一列晶片固定板(21)的中线位于同一直线上。
7.根据权利要求1、2、4-6中任意一项所述的便于切割的固晶板,其特征在于,晶片固定板(21)、晶片定位板(31)为实心金属板或空心金属板。
8.根据权利要求1、2、4-6中任意一项所述的便于切割的固晶板,其特征在于,基板(1)为玻璃板、玻纤板、环氧树脂板、金属板中的一种。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造