[实用新型]应用于长晶炉的热场结构和长晶炉有效
| 申请号: | 202022880185.3 | 申请日: | 2020-12-03 |
| 公开(公告)号: | CN216639714U | 公开(公告)日: | 2022-05-31 |
| 发明(设计)人: | 何亮;徐云飞;毛伟;雷琦;邹贵付;钱逸泰;甘胜泉;饶森林;张发云 | 申请(专利权)人: | 新余赛维铸晶技术有限公司 |
| 主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00;C30B29/06;C30B29/20 |
| 代理公司: | 南昌逸辰知识产权代理事务所(普通合伙) 36145 | 代理人: | 刘晓敏 |
| 地址: | 338004 江西省新余市高新开发区赛维大道*** | 国省代码: | 江西;36 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 应用于 长晶炉 结构 | ||
1.一种应用于长晶炉的热场结构,包括坩埚,保温层,其特征在于,所述坩埚周围设有保温层,所述保温层全部或部分为氧化锆纤维硬毡,所述保温层中所述氧化锆纤维硬毡为至少一层;所述保温层还包括碳纤维硬毡层和/或钨层和/或钼层的至少一种;所述保温层为围设在所述坩埚外部的侧保温层和/或设置在所述坩埚之上的上保温层和/或设置在所述坩埚之下的下保温层的至少一种;所述氧化锆纤维硬毡表面全部或部分涂覆氮化硅层。
2.根据权利要求1所述应用于长晶炉的热场结构,其特征在于,所述保温层中氧化锆纤维硬毡为两层,所述两层氧化锆纤维硬毡紧密结合,所述两层氧化锆纤维硬毡的内外表面涂覆有氮化硅层。
3.根据权利要求1所述应用于长晶炉的热场结构,其特征在于,其特征在于,所述氧化锆纤维硬毡的厚度为20-60mm,所述氮化硅层的厚度为0.5-1.5mm。
4.根据权利要求1所述应用于长晶炉的热场结构,其特征在于,所述保温层包括一层碳纤维硬毡层或一层所述钨层或一层所述钼层和一层所述氧化锆纤维硬毡层,所述一层碳纤维硬毡层或一层所述钨层或一层所述钼层和一层所述氧化锆纤维硬毡层紧密结合,所述氧化锆纤维硬毡两面涂覆有氮化硅层。
5.根据权利要求1所述应用于长晶炉的热场结构,其特征在于,所述保温层包括两层碳纤维硬毡层、两层所述钨层或两层所述钼层和一层所述氧化锆纤维硬毡层,所述氧化锆纤维硬毡设置在两层所述碳纤维硬毡、两层所述钨层或两层所述钼层中间,所述氧化锆纤维硬毡两面涂覆有氮化硅涂层;任选地,所述氧化锆纤维硬毡的厚度为20-60mm,所述氮化硅层的厚度为0.5-1.5mm,所述碳纤维硬毡层的厚度为25-60mm。
6.一种长晶炉,包括坩埚,保温层,其特征在于,所述保温层为如权利要求1-5任一所述的保温层。
7.根据权利要求6所述的长晶炉,其特征在于,所述长晶炉为铸锭炉,单晶炉或蓝宝石炉。
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