[实用新型]一种用于扫描电子显微镜中真空运动平台的双轴联动结构

说明书

本实用新型公开了一种用于扫描电子显微镜中真空运动平台的双轴联动结构，该用于扫描电子显微镜中真空运动平台的双轴联动结构，在使用过程中真空电机能够通过连轴节和螺杆带动直线运动平台在滑块的作用下沿导轨滑动，同时步进电机能够通过连轴节、旋转台驱动轴和蜗杆带动涡轮旋转，涡轮能够带动旋转台旋转，这样就能够实现样品托的待观察样品随直线运动的同时也随旋转台一起旋转。总之，该用于扫描电子显微镜中真空运动平台的双轴联动结构结构设计科学合理可靠，能实现两轴联动，能快速可靠定位样品台上的样品，换样方便快捷，能做到结构紧凑、体积小、装配方便，可应用于场发射等超高真空环境下。

技术领域

本实用新型涉及到扫描电镜技术领域，特别涉及一种用于扫描电子显微镜中真空运动平台的双轴联动结构。

背景技术

随着科技的发展需求，扫描电镜在各科研、企事业单位被广泛应用。扫描电子显微镜是利用阴极与阳极之间的高压产生高速电子，经过几级聚焦形成极细的电子束，在试样表面逐点扫描激发试样表面的各种信号，最后通过不同传感器收集成像。为了减少换样抽真空的耗时，增加检测的效率，电镜一次测试能装几种甚至十几种不同的样品，故而需要在狭小的真空腔体内进行不同轴的传动，将样品台上的不同样品托上的样品移动到电子束下进行观测。

原有真空平台的结构复杂，既难加工也难装配调试，而且真空平台结构不紧凑导致真空腔体积过大，增加抽真空时间和成本。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种用于扫描电子显微镜中真空运动平台的双轴联动结构，以解决原有结构体积较大，使用过程中成本高的问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：一种用于扫描电子显微镜中真空运动平台的双轴联动结构，包括基座平台、导轨、步进电机和真空电机，所述基座平台的一端通过电机固定座固定有步进电机，所述基座平台的另一端通过电机固定座固定有真空电机，所述基座平台上固定有两条相互平行的导轨，所述导轨上设有滑块，所述滑块上固定有直线运动平台，所述直线运动平台的中部设有涡轮，所述涡轮上固定有旋转台，所述真空电机通过连轴节连接有螺杆，所述螺杆从直线运动平台内穿过，所述真空电机能够通过连轴节和螺杆带动直线运动平台在滑块的作用下沿导轨滑动，所述步进电机通过连轴节连接有旋转台驱动轴，所述旋转台驱动轴从蜗杆内穿过，所述蜗杆通过蜗杆放置座设置在直线运动平台上，所述步进电机能够通过连轴节、旋转台驱动轴和蜗杆带动涡轮旋转，所述涡轮能够带动旋转台旋转，所述旋转台上设有多个样品托。

优选的所述基座平台上固定有螺杆限位块，所述螺杆从螺杆限位块内穿过。

优选的所述基座平台的两端对应直线运动平台分别固定有直线运动平台行程开关。

优选的所述旋转台上通过设有多个样品托。

优选的所述旋转台上通过玻珠顶丝可拆卸设置有多个样品托。

优选的所述直线运动平台上对应旋转台固定有旋转台行程开关。

优选的所述直线运动平台上对应涡轮设有阻尼块。

优选的所述螺杆限位块顶端设有限位导向槽，所述旋转台驱动轴端头放置在限位导向槽内。