[实用新型]一种开裂检测装置及长晶装置

说明书

本申请公开了一种开裂检测装置及长晶装置，属于晶体制备技术领域。该开裂检测装置包括隔热壳体，所述隔热壳体形成的腔室内包括放置待测件的容纳腔；加热组件，所述加热组件置于所述隔热壳体外，所述加热组件用于均匀加热所述容纳腔内的待测件；以及测温组件，其用于检测所述待测件的待测表面的温度或检测与所述待测表面相对的所述隔热壳体表面的温度，并根据检测到的温度变化确定待测件是否开裂。该检测装置可以无接触检测高温环境下待测件是否开裂，结构简单、操作安全，能实现对任意温度尤其高温下待测件的实时检测。

技术领域

本申请涉及一种开裂检测装置及长晶装置，属于晶体制备技术领域。

背景技术

材料在加工使用过程中均会受到外部因素的影响而不可避免的产生裂缝，当材料出现裂缝时，相应的性能下降，如果不能及时发明并更换材料就会导致生产出来的制品不合格或造成危险，为了评估材料的状况，要采取适当的措施对材料进行裂缝检测，并将其作为评估材料性能的重要指标。

目前传统的材料检测方式有人工观察、超声波探测、X射线探测、激光检测和图像处理检测方法，其中人工观察方式存在效率低、成本高、易漏检等缺点；超声波探测、X射线探测、激光检测方式所需的设备体积都较大，操作程序复杂，一般只用于阶段性检测，而无法实现实时检测；图像处理检测方法需要人工预先设定目标物的表面情况，采用相机和光源的配合来实时拍照对比进行检测，工作量繁琐、只能对所拍照视野的大范围进行检测，无法准确地实现对材料某一具体位置进行检测。

对于晶体制备领域来说，坩埚在使用过程中因为安装搬运、热胀冷缩等原因会出现开裂现象，若无法及时发现坩埚开裂现象，经常造成物料损失，例如坩埚在长晶过程中开裂后会导致长晶环境不稳定，进而使产品质量下降，也会存在引发火灾、设备损坏、人员受伤等安全隐患，因此需要对高温工作状态下的坩埚进行实时监测。但是，超声波探测、X射线探测、激光检测方式会受到温度的影响，随着温度的升高，检测器的灵敏度降低，因此不能对高温下工作的坩埚进行检测。采用图像处理方法检测高温下的坩埚，该方法缺陷在于成像质量会受温度、背景反射、坩埚表面状态等因素的影响，导致测量结果不准确。

综上所述，目前所用的实时检测方法都不能满足对高温下正常工作的坩埚进行实时开裂检测，急需开发一种能实现对高温下的坩埚实时进行开裂检测的技术装置。

实用新型内容

为了解决上述问题，本申请提供了一种开裂检测装置及长晶装置，该开裂检测装置利用测温组件对待测件表面温度或与待测表面相对的隔热壳体表面的温度进行检测，并根据所检测到的温度变化判断待测件是否开裂，该检测装置可以无接触检测高温环境下待测件是否开裂，结构简单、操作安全，利用待测件表面的温度变化来判断是否开裂，能实现任意温度尤其高温待测件的实时检测。

根据本申请的一个方面，提供了一种开裂检测装置，包括：

隔热壳体，所述隔热壳体形成的腔室内包括放置待测件的容纳腔；

加热组件，所述加热组件置于所述隔热壳体外，所述加热组件用于均匀加热所述容纳腔内的待测件；以及

测温组件，其用于检测所述待测件的待测表面的温度或检测与所述待测表面相对的所述隔热壳体表面的温度，并根据检测到的温度变化确定待测件是否开裂。

可选地，所述测温组件设置在所述隔热壳体外，所述测温组件检测与所述待测表面相对的所述隔热壳体实测表面的温度。

可选地，所述测温组件包括温度检测器和支撑组件，

所述支撑组件包括至少一个驱动部和与所述驱动部连接的轨道，所述温度检测器安装在所述轨道并能够沿所述轨道移动，所述驱动部驱动所述轨道移动从而并带动所述温度检测器沿所述实测表面移动。

可选地，所述支撑组件还包括底座，所述驱动部设置在所述底座上，所述驱动部包括升降杆，所述升降杆的一端连接所述轨道。