[实用新型]玻璃基板干燥室

说明书

本实用新型公开一种玻璃基板干燥室，包括干燥室本体，干燥室本体设有干燥腔室，玻璃基板在干燥腔室中进行干燥，干燥腔室中设有真空烘干设备和输送机构，玻璃基板通过输送机构从干燥腔室转移至真空烘干设备中。本实用新型的玻璃基板干燥室将真空烘干设备设置在干燥腔室中，玻璃基板在干燥腔室内被干燥后，输送机构再将玻璃基板转移至真空烘干设备中烘干，大大减少了玻璃基板的转移时间，提高了干燥效率，转移路径的缩短也降低了玻璃基板在转移过程中的受损风险。由于真空烘干设备设置在干燥腔室中，也使得本实用新型的玻璃基板干燥室的结构紧凑，占地面积小，方便进行布置。

技术领域

本实用新型涉及显示器制造技术领域，尤其涉及一种玻璃基板干燥室。

背景技术

显示器中的玻璃基板在进行蒸镀等加工之前需要进行清洗以去除表面附着的杂质，清洗后再进行干燥，确保后续工序中不会有水汽产生。现有的干燥流程是首先用惰性气体吹干玻璃基板，然后再用叉车或其他运输工具将吹干后玻璃基板转移到真空设备内进行烘干。由于干燥过程在两个不同的设备中进行，造成了干燥设备占地面积较大，干燥效率较低。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种玻璃基板干燥室，占地面积较小且具有较高的干燥效率。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

提供一种玻璃基板干燥室，包括干燥室本体，所述干燥室本体设有干燥腔室，玻璃基板在所述干燥腔室中进行干燥，所述干燥腔室中设有真空烘干设备和输送机构，所述玻璃基板通过所述输送机构从所述干燥腔室转移至所述真空烘干设备中。

作为本实用新型的一种优选方案，所述输送机构包括导轨和至少一个机械手，所述机械手包括底座、承载臂和连接臂，所述底座活动设置在所述导轨上，所述连接臂的一端与所述底座铰接，所述连接臂的另一端与所述承载臂铰接。

作为本实用新型的一种优选方案，所述连接臂包括第一铰接臂和第二铰接臂，所述第一铰接臂的一端与所述底座铰接，所述第一铰接臂的另一端与所述第二铰接臂的一端铰接，所述第二铰接臂远离所述第一铰接臂的一端与所述承载臂铰接。

作为本实用新型的一种优选方案，所述导轨包括至少一条竖直设置的竖直轨道和若干水平设置的水平轨道，所述竖直轨道与各个所述水平轨道连接。

作为本实用新型的一种优选方案，所述导轨包括两条所述竖直轨道，所述水平轨道的两端与分别与一个所述竖直轨道连接，所述机械手的数量大于两个。

作为本实用新型的一种优选方案，所述玻璃基板干燥室还包括若干支撑架，所述支撑架水平设置在所述干燥腔室内，所述机械手将所述玻璃基板放置在所述支撑架上；

或，所述机械手将所述玻璃基板从所述支撑架转移至所述真空烘干设备。

作为本实用新型的一种优选方案，所述干燥室本体呈长方体状，所述支撑架的一端固定在所述干燥室本体的一个内侧壁上，所述导轨设置在与所述支撑架相邻的另一个内侧壁上。

作为本实用新型的一种优选方案，所述真空烘干设备设置在所述干燥室本体的地面上，且所述真空烘干设备设置在所述支撑架的正下方。

作为本实用新型的一种优选方案，所述玻璃基板干燥室还包括门体，所述干燥室本体上设有开口，所述门体选择性封闭所述开口。

作为本实用新型的一种优选方案，所述玻璃基板通过所述开口输送至所述输送机构，所述输送机构通过所述开口将所述玻璃基板输送至所述干燥室本体之外。

本实用新型的有益效果：