[实用新型]一种硅片花篮用端板结构有效
| 申请号： | 202022840315.0 | 申请日： | 2020-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN213424951U | 公开（公告）日： | 2021-06-11 |
| 发明（设计）人： | 沈杰;姜泉 | 申请（专利权）人： | 常州科讯精密机械有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司： | 常州市科谊专利代理事务所 32225 | 代理人： | 钮云涛 |
| 地址： | 213000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 花篮 板结 | ||
1.一种硅片花篮用端板结构，其特征在于，包括：
端板，和固定在两个端板之间的若干齿杆，至少两根齿杆上具有一列辅助齿排，该列辅助齿排具有若干辅助齿本体；
各辅助齿本体开设有一水平贯穿的贯穿孔，任一所述端板上滑动连接有一限位条，且该端板内设置有联动部；其中
硅片本体插入相邻两辅助齿本体之间后，所述联动部能够联动所述限位条穿过各贯穿孔插入该硅片本体的限位孔内。
2.如权利要求1所述的一种硅片花篮用端板结构，其特征在于，
所述端板内设置有一空心腔体，
所述联动部包括转动连接在所述空心腔体两侧壁的第一齿盘和第三齿盘，所述第一齿盘与所述第三齿盘同轴设置，且所述第三齿盘与所述限位条联动；其中
转动所述第一齿盘并通过第三齿盘联动所述限位条沿所述贯穿孔滑动。
3.如权利要求2所述的一种硅片花篮用端板结构，其特征在于，
所述联动部还包括两侧端面分别与所述第一齿盘和所述第三齿盘固定连接的第二齿盘，其中
转动所述第一齿盘或所述第二齿盘能够带动所述第三齿盘转动。
4.如权利要求3所述的一种硅片花篮用端板结构，其特征在于，
所述第一齿盘和所述第二齿盘上的盘齿交替设置；其中
交替转动所述第一齿盘和所述第二齿盘并带动所述第三齿盘转动。
5.如权利要求4所述的一种硅片花篮用端板结构，其特征在于，
所述限位条为一齿条，且所述限位条与所述第三齿盘啮合，其中
所述第三齿盘能够带动所述限位条沿所述贯穿孔滑动。
6.如权利要求1所述的一种硅片花篮用端板结构，其特征在于，
所述端板上开设有两个钩部，所述端板上镜像设置有两个斜部，该斜部的侧边长为8mm~12mm。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
