[实用新型]一种无线智能切换的离子源灯丝及离子注入设备

说明书

本实用新型公开了一种无线智能切换的离子源灯丝，包括至少两个灯丝、电源模块、切换模块和智能控制模块，所述电源模块通过所述切换模块与所述至少两个灯丝切换连接；所述智能控制模块连接控制所述切换模块进行切换，具有无线通讯单元，所述无线通讯单元用于通过无线网络从远程控制终端处接收远程切换指令。该离子源灯丝可通过远程方式对离子源中的多个灯丝进行无线智能切换。本实用新型还提供一种离子注入设备。

技术领域

本实用新型涉及离子注入设备，尤其涉及一种无线智能切换的离子源灯丝及离子注入设备。

背景技术

离子注入设备在半导体工艺中用于对半导体晶圆中的待掺杂区进行离子注入，而离子源则是离子注入设备中用于产生离子的核心部件。离子源通过将高能电流通入灯丝中，使灯丝产生热电子以不停地撞击热阴极，进而使热阴极也产生热量并发射高能的自由电子，以撞击掺杂气体最终形成离子源。

现有技术中，离子源都是采用单一灯丝结构，而灯丝的使用周期短且更换灯丝需要停机、拆卸、更换、氦气检测、去除空气等步骤，整个过程耗时较长且更换频率高，导致离子注入设备停机时间长，影响生产效率。

同时，离子注入设备每完成一块待掺杂基板的离子注入后，都需要将已待掺杂基板送出制程腔室，然后更换新的待掺杂基板，将新的待掺杂基板送入制程腔室后才开始下一次离子注入，这个过程造成了时间上的浪费，不利于提高效率。

实用新型内容

为了解决上述现有技术的不足，本实用新型提供一种无线智能切换的离子源灯丝，可通过远程方式对离子源中的多个灯丝进行无线智能切换。

本实用新型还提供一种离子注入设备。

本实用新型所要解决的技术问题通过以下技术方案予以实现：

一种无线智能切换的离子源灯丝，包括至少两个灯丝、电源模块、切换模块和智能控制模块，所述电源模块通过所述切换模块与所述至少两个灯丝切换连接；所述智能控制模块连接控制所述切换模块进行切换，具有无线通讯单元，所述无线通讯单元用于通过无线网络从远程控制终端处接收远程切换指令。

进一步地，所述切换模块包括至少两个继电器，所述继电器的输入端与所述电源模块连接，输出端与对应的灯丝连接，控制端与所述智能控制模块连接。

进一步地，所述切换模块包括第一切换开关和第二切换开关，所述第一切换开关具有与所述电源模块的第一电极连接的第一输入端、分别与所述至少两个灯丝的第一电极对应连接的至少两个第一输出端以及与所述智能控制模块连接的第一控制端；所述第二切换开关具有与所述电源模块的第二电极连接的第二输入端、分别与所述至少两个灯丝的第二电极对应连接的至少两个第二输出端以及与所述智能控制模块连接的第二控制端。

进一步地，还包括底座以及贯穿于所述底座上的至少两根第一电极管和至少两根第二电极管，所述至少两个灯丝的第一电极分别连接于对应的第一电极管上，以通过对应的第一电极管分别连接至所述切换模块；所述至少两个灯丝的第二电极分别连接于对应的第二电极管上，以通过对应的第二电极管分别连接至所述切换模块。

进一步地，所述切换模块包括第三切换开关，所述第三切换开关具有与所述电源模块的第一电极连接的第一输入端、分别与所述至少两个灯丝的第一电极对应连接的至少两个第一输出端以及与所述智能控制连接的第三控制端；所述至少两个灯丝的第二电极共同连接至所述电源模块的第二电极。

一种离子注入设备，包括制程腔室和离子注入装置，所述离子注入装置内设置有上述的离子源灯丝；所述离子注入装置与所述制程腔室的离子注入口相连通以向所述制程腔室内发射离子束，以及用于将掩膜板传送至所述制程腔室内的第一传送装置和用于将至少两基板传送至所述制程腔室内的至少两第二传送装置，所述第二传送装置与所述基板之间一一对应，所述至少两基板在所述制程腔室内于所述掩膜板背向所述离子注入口的一侧相间隔层叠。